[其他]普氮制取超纯氮净化装置及工艺流程

权利要求书

1、运用加H₂法由普N₂制取超纯N₂的净化装置包括：脱O₂反应柱、深度净化管、一对吸附柱；本发明的特征在于：脱O₂反应柱与吸附柱间加入可同时进行脱H₂、脱O₂的反应柱(RO/R)和脱H₂反应柱(RO)并设计了能连续取样分析N₂流中气体组分的H₂/O₂检测计(HOM)和调节加H₂量的精密计量伐(FMV)。

2、按照权项1所述反应柱（Ro/R）与反应柱（Ro），是由Ro/R反应柱体1，Ro反应柱体4，Ro/R与Ro接体5以及反应柱在线接口3等组成。

反应柱柱径与柱高之最佳比：Ro/R柱为1/10，Ro柱为1/5。

3、按照权项1所述H₂/O₂检测计（HOM），是一种在线测试、声光报警、控制仪。H₂/O₂检测计（HOM）有二处取样口，其一设在脱O₂反应柱出口，其二设在Ro/R反应柱出口。H₂/O₂检测计可配以微机联机使用。

4、按照权项1所述调节加H₂量的精密计量伐（FMV），是一种连续可调，工作稳定、重复性好、气密可靠的伐件。

5、利用权项1所述普N₂制取超纯N₂净化装置进行净化的工艺流程，按下法：

（1）原料普N₂（＞98%）与普H₂（＞98%）混合，常温下在脱O₂反应柱内进行H₂/O₂催化反应而去O₂;

（2）除O₂后的N₂流气进入Ro/R反应柱发生氧化-还原反应以脱除H₂或O₂。在Ro反应柱内可进一步脱H₂以确保H₂指标。Ro/R～Ro反应柱的柱温为100℃～180℃。

（3）经空气冷却器后的N₂流气送入吸附柱以除去水份和其他杂质;

（4）被净化的N₂流气在深度净化管内再行深度脱O₂及去除其他杂质;

（5）最后通过高效过滤器以行获得超纯产品N₂/Ar（＞99.9999%）。

（6）按照权项5所述净化工艺、加H₂量的控制是由H₂/O₂检测计（HOM）提供信息（一次信息SI₁和二次信息SI₂）、人工调节加H₂精密计量伐（FMV）进行的。如配以微机则全自动化。