[其他]惰性气体脱氢、氧净化剂

说明书

本发明的净化剂用于净化惰性气体，它既可脱除氢，又可脱除氧，可广泛用于电子工业，半导体材料和器件生产，冶金、仪表、化工和原子能等工业所需N₂、Ar、He气的纯化工艺。

惰性气体的净化常涉及脱氢或脱氧，有时也有氢和氧需同时脱除。如果只涉及H₂或O₂而且总气量不大时，通常可用吸收型的净化剂，如用CuO去H₂，用锰型脱氧剂去O₂;也可用消耗性的材料，如用碳脱氧剂使O₂转化成CO₂后除去。但对于H₂或O₂杂质含量高且总气量大的惰性气体流，则采用H₂-O₂反应的工艺有好处，向含有一种杂质气（通常为O₂）的原料气中加入相应量的另一种气体（通常为H₂），使H₂∶O₂接近化学计量2∶1，用催化H₂-O₂反应的方法除去，可采用Pd类或Pt类的催化剂。但原料气中的H₂和O₂往往不能保持精确稳定的计量比，于是出口气中便有残H₂或残O₂，且往往交替波动出现。

为净化H₂，O₂并存的惰性气体流，日本特许公报（昭53-33312）曾用一种氧化铜粉末和钯黑粉末混合的脱H₂脱O₂净化剂可在150-250℃使用。公报实例说明利用氧化铜粉末和钯黑粉末混合净化剂，惰性原料气含H₂228ppm或含O₂237ppm，在200-300℃净化后出口气中H₂、O₂浓度小于0.2ppm，在180℃净化后，气流中H₂浓度约10ppm。

本发明的目的在于研制一种净化剂，用于净化既含杂质H₂又含杂质O₂的惰性气体流。要求在较低的温度下工作，当H₂、O₂累积总量接近化学计量比而短期内H₂/O₂比在一定范围内波动时，保证尾气中的H₂和O₂分别小于1ppm，适用于惰性气体加氢去氧的工艺流程。