[其他]一种小型流体传感器无效
| 申请号： | 85102765 | 申请日： | 1985-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN85102765B | 公开（公告）日： | 1987-09-16 |
| 发明（设计）人： | 牛德芳;高鑫;胡静山;周丽芳 | 申请（专利权）人： | 大连工学院 |
| 主分类号： | G01L9/06 | 分类号： | G01L9/06 |
| 代理公司： | 大连工学院专利事务所 | 代理人： | 王树本 |
| 地址： | 辽宁省大*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 小型 流体 传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种由半导体力敏元件和腔体所组成的小型流 体传感器，它包括有：
A、流体接口3，它是采用与不锈钢膜片5直 径相近的压紧螺帽安装在端盖1上的；
B、力敏元件是采用整体硅杯结构，将八个力 敏电阻分布在(001)晶面上的<110>晶向上；
其特征在于：
C、用杂质扩散在硅杯(001)晶面上的<110> 晶向上的八个力敏电阻，它们之中的四个力敏电阻 (1)、(4)、(5)、(8)分布在0.8～0.98r之间， 另外四个力敏电阻(2)、(3)、(6)、(7)分布在 0.5～0.6r之间；
D、组成惠斯登电桥力敏电阻(1)、(2)、(3)、 (4)为一组，(3)、(4)、(5)、(6)为一组，(5)、 (6)、(7)、(8)为一组，(7)、(8)、(1)、(2) 为一组；
E、将不锈钢膜片5直接压焊在腔体的端盖 (1)上。
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