[其他]前截止热释电探测器无效
申请号: | 85102846 | 申请日: | 1985-04-01 |
公开(公告)号: | CN85102846B | 公开(公告)日: | 1988-09-28 |
发明(设计)人: | 陈祖培 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海技术物理研究所 |
主分类号: | H01L37/02 | 分类号: | H01L37/02;H01L31/08;G01J1/42 |
代理公司: | 中国科学院上海专利事务所 | 代理人: | 衷诚宣 |
地址: | 上海市中山北*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 截止 热释电 探测器 | ||
发明属于光电技术,更确切地说属于使用热释电响应元的红外光电探测器,供红外报警,红外遥控开关和红外测温仪等红外仪器。
已往的热释电探测器内装有一个热释电响应元薄片,该薄片二个表面垂直于自发极化并在二表面上有二对电极,与热释电薄片一起构成灵敏元和补偿元,灵敏元正对入射辐射一边的电极(称为正面电极)与背面电极间的重叠部分为灵敏元面积,它与补偿元面积相等,响应元封装于一个保护外壳内(参见Usup4437002)。
普通热释电探测器对紫外至远红外波段的辐射都有响应,在应用时易受阳光或其他可见光的干扰,而且补偿元产生噪声使探测器灵敏度下降。
这种探测器用于入侵报警,遥控开关和测温仪时一般必须在探测器前加一块前截止滤光片。这种滤光片采用多层膜干涉方法设计而成,制作工艺一般比较复杂,这对于降低仪器成本十分不利。
本发明的目的在于克服上述缺点,不仅可以提高性能,而且可以降低成本。
本发明的主要技术特征在于有一个前截止光谱响应的热释电响应元,响应元是镀上正面电极和背面电极的热释电薄片(如钽酸锂单晶)薄片二表面垂直于自发极化,正面电极分割成二部分,分别作为灵敏元和补偿元的正面电极。响应元固定在陶瓷支座上,密封在带有红外窗口的管壳内。灵敏元的正面电极是一个由可见光到近红外某起始波长(如6微米)完全透明的半导体氧化物薄膜(如氧化铀)。或采用在薄金属膜(如50~500埃银膜)上制作一个栅状金属电极,补偿元正面电极与背面电极都是金属薄膜(如银)制成,补偿元面积是灵敏元面积的三倍。
附图(一)系所建议的前截止热释电探测器剖面图,为了更好地表明其结构,附有电极正视图,如图(二)所示,1.外壳;2.红外窗口;3.响应元热释电薄片;4.灵敏元正面电极;5.补偿元正面电极;6.背面电极;7.陶瓷支座;8.电极引线;9.灵敏元引出电极。
背面电极与外壳间距离应大于0.5毫米,红外窗口(如硅片)有一层增透膜,本发明用于红外报警仪,红外遥控开关和测温仪,不仅可以消除阳光干扰的影响,而且由于探测率高,并省略滤光片可以使成本降低50%,本发明较之已有的热释电探测器探测率要提高一倍以上。
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