[其他]气体分析仪

说明书

本发明所涉及的气体分析仪，是在从光源出发经过气体容器而延伸至探测器的光路上装有多层干涉滤光片的气体分析仪。

气体分析仪中使用的多层干涉滤光片，通常都是带通滤光片，对于这种带通滤光片来说，重要的是要有一个特定波长作为中心波长，因为这个特定的中心波长也就是适用于装有该滤光片的气体分析仪的工作波长，这种带通滤光片的制造方法，一般是在滤光片的基片上真空蒸镀大约一百层差不多为0.05微米厚的薄膜，为了得到所需要的特定的中心波长，此膜层厚度的制造精度要求不低于0.5%。

从制造技术的观点考虑，对于这种多层膜干涉滤光片来说，要制造具有特定中心波长的滤光片是困难的，而且实际上这种特定波长只有在制成之后才能确定。因此，可用的多层干涉滤光片的数量是非常有限的，只要中心波长稍一偏离所需要的波长，就要把滤光片报废，因而这种制造工艺的滤光片成品率很低，多层干涉滤光片通常都是很昂贵的，低成品率的结果使每个可用的滤光片的制造成本更高。

本发明是基于多层干涉滤光片的性质而提出的，它利用了光透过滤光片的光的入射角发生变化时，透过率最大的波长随之发生改变的性质。

本发明的目的就是为了提供一种气体分析仪，甚至当干涉滤光片的中心波长不同于该分析仪所要求的特定波长时，通过将滤光片的透过率最大的波长改变到所需要的特定波长上，使该分析仪能够使用。

为了达到以上目的，本发明所述的气体分析仪，至少备有一个光阑孔和至少装有一个多层干涉滤光片，光阑孔是沿着光轴的方向配置的，-光轴就是从光源出发经过气体容器而连接至少一个探测器的直线;而多层干涉滤光片所处的位置，应能使探测器与光阑孔之间的距离在光轴方向上是可变的。

通过本发明，就使从气体容器中出射的光对于滤光片的最大入射角有可能进行调整，因而，中心波长与所需要的波长的任何差异就可以被消除。这样做的结果，使得中心波长在较宽范围内偏离所要求的中心波长的滤光片有可能使用;因此，用上述方法制造多层干波滤光片的成品率就会显著地提高，制造可用滤光片的成本也就会降低。

由于多层干涉滤光片的透过率最大的波长可以改变，举例来说，就有可能提高丙烷和正己烷之间的相对灵敏度，改进CO₂的校准曲线。

这里介绍的本发明的目的以及另外一些目的，从以下的详细说明和举例中可以明显地看出来。

图1为按照本发明提供的气体分析仪实施例的剖视图。

图2为图1所示的气体分析仪传感器的剖视图，它表示传感器是如何运动的。

图2（a）～2（c）为光阑孔限定装置实施例的局部剖视图。

图3（a）和3（b）表示当传感器处于不同位置时，多层干涉滤光片上光的最大入射角度的变化。

图4为解释透过率最大的波长与多层干涉滤光片上光的最大入射角之间关系的曲线。

图5为另一种形式的实施例，其中的光阑孔是可以移动的。

图6为又一种形式的实施例，其中的光阑孔直径是可以变化的。