[发明专利]辉光放电分解装置

权利要求书

1、通过辉光放电分解在基片上沉积薄膜的装置，其包括：一个射频电源9，一个匹配电路8，以及由两个接地电极31、32，两个射频电极11、12和至少含有一个电元件的控制电路所构成的单元，接地电极31、32与射频电极11、12相对设置，基片41、42被设置于接地电极31、32上并与所述的射频电极相对，所述的两个射频电极11与12相互平行，匹配电路8与射频电源9相联，控制电路从匹配电路8接受射频能量并通过其输出端将射频能量输送给射频电极。

2、权利要求1的装置，其中控制电路包括一固定电容和一可变电容。

3、权利要求1的装置，其中控制电路包含一固定电感和一可变电感。

4、权利要求1的装置，其中该装置包括1至100套所述单元。

5、权利要求1的装置，其中射频能量的频率为1至100兆赫（MHz）。

6、权利要求1的装置，其中设置了用于加热基片的加热器。

7、权利要求2的装置，其中电容器同射频电极串联连接。

8、权利要求2的装置，其中电容器并联接地。

9、权利要求3的装置，其中电感器同射频电极串联连接。

10、权利要求3的装置，其中电感器并联接地。