[其他]光学信息记录材料及其制造方法

说明书

本发明涉及了应用光，热高速高密度记录光学信息和能再现的光学信息记录材料。

利用激光光线，实现高密度信息的记录、再现技术是公知的。作为用于该记录再现的媒介物，在基板上设置以TeOx₁为主要成分的薄膜。该TeOx₁（O＜X₁＜2）是Te和TeO₂之混合物（公开专利公报昭和50-46317，公开专利公报昭和50-46318，公开专利公报昭和50-46319，美国专利第3971874号说明书）。使用PbOx₅（O＜X₅＜1），SbOx₆（O＜X₆＜1.5）、VOx₇（O＜X₇＜2.5）作为添加成分。该记录媒介物在再现用的光束照射时，可以使穿透率变化大。

但是，企图使记录再现装置小型化、简易化时，所得到的激光光源之输出功率是有限的，使用20毫瓦以内小型输出功率的He-Ne激光器、半导体激光器等，实现记录再现方面，在先有技术中以TeOx（O＜X＜2）为主要成分制备的薄膜作为记录媒介物，其灵敏度是不够的。并且，以反射光量值变化重现信息时，也不能得到充分的变化量。

其次，作为弥补上述缺点的方法，在TeO_X（O＜X＜2）中应用融点低的辅加材料，试图使状态变化的临界温度下降，比如有添加TlOx（O＜X＜1.5）（Tl₂O融点300℃）之方法。

一方面，为使状态变化时，光学特性的变化增大，有一种能使媒介物的折射率变大的方法。据此，使用离子极化率大且密度大的添加材料进行试验。例如，BiOx₂、InOx₂（O＜X₂＜1.5）等（特愿昭53-109002，特愿昭54-71506）。用这些方法，把TeOx作为主要成分的记录媒介物，由半导体激光器形成记录、靠反射光量变化再现等是可能的。

然而，随着信息社会的发展，以至当信息传递要求更快时，记录再现速度也更高了。随之，提高记录灵敏度也越来越必要了。

本发明提供了这样一种光学信息记录材料，先有技术的TeO₂和Te形成混合物TeOx作为主要成分的光学记录膜得到改善，保留TeOx薄膜的长处，比如耐潮湿性能好等优点的同时，与先有技术相比较，大大提高了记录速度和记录灵敏度。

本发明的光学信息记录材料，其特征为在基板上形成的光学记录膜，至少由Te、O、Pd三种元素构成，前述三种元素膜中的原子数比例是，Pd含5～40%（原子数）、O含20～60%（原子数）。

根据本发明产生的光学信息记录材料，至少由Te、O、Pd组成。Pd的含量为5～40%（原子数）（理想的为8～35%（原子数））;并且，O的含量为20～60%（原子数）（理想的为30～55%（原子数）），把在该范围中构成的薄膜作为光学记录膜。由于上述发明，在记录速度、CN比方面大大胜过以前具有TeOx薄膜的光学信息记录材料，而且具备优越的耐潮湿性。

第1图表示本发明的光学信息记录材料的一个实施例的主要部位剖面图;第2图是用本发明制的光盘上记录、重现信息信号的装置略图。

1-基板、2-记录薄膜。

TeO₂和Te的混合物TeOx薄膜，如果照射激光等高密度光后，其光学常数变化，形成黑色可见点。利用这个变化理应对信息进行光学记录、再现。但是，这个变化经过光照→吸收→温升过程，膜中Te粒子的状态变化，即认为可能是由于晶粒成长而产生的光学变化。因此，为了提高记录速度，使这种状态变化如何快速完成，则是要考虑的重大因素。但是，先有技术中的TeOx系列薄膜在记录时，Te粒子发生状态变化时，由于TeO₂有势垒阻挡层，为得到稳定的结晶状态，结构上的缓解是需要一些时间的。这样形成的记录材料作为信息、记录图象之类情况时没有什么问题，但是用于作为需高速响应的电子计算机磁盘时，不得不增加设备设计上的限制。

本发明基于现状把在Te和TeO₂的混合物TeOx中添加了Pd成分作为基本构成的薄膜作记录层，并且根据控制膜中Te、O、Pd原子数的比例，比起先有技术TeOx系列记录薄膜，可用短得多的时间完成记录，也就是说，可以得到速度要高得多的记录、再现的光学记录媒介物。