[其他]封导结合的双环密封系统

说明书

本发明属于空气洁净技术中除尘过滤器的边框密封系统，特别适用于安装高效过滤器时防止边框渗漏的密封系统。

随着精密仪表、集成电路生产的发展，对生产空间洁净度提出了十分严格的要求。例如在超大规模集成电路生产时，要求洁净室内每升空气中，大于0.1微米的尘粒不超过0.35粒。为防止微小灰尘进入洁净室，需采用除尘过滤器清洁空气。洁净度级别越高，高效过滤器效率越高，其边框和框架之间的渗漏影响越大，成为主要的渗漏部位。

目前，解决过滤器边框渗漏的方法有：在边框上粘橡胶条，形成密封，或将框架做成槽形，过滤器边上带裙边，刀口放入槽内，在槽内注入特殊的油脂形成油封，或将密封橡胶条表面做成凹槽状，在凹槽中涂敷硅橡胶一类密封胶，当过滤器边框和框架压紧时，密封胶可以挤向所有缝隙，使密封条象吸盘一样压紧在边框上。还有一种方法是在过滤器四周形成负压空腔的办法，即是将几个过滤器置于负压空腔之间的井字形盖板上。分析以上密封方法，有如下不足：从边框外侧到内侧的连续的接触面，容易出现凹凸不平，接触不良，可能出现渗漏通道;只注意胶条与过滤器边框之间的密封，而未考虑胶条与边框粘接面是否渗漏，过滤器置于负压空腔之间的井字形盖板上时，负压空腔本身不易严密。因此，密封效果不良，或构造复杂，安装不便。

本发明的目的是提供一种封、导结合，杜绝渗漏的密封系统。

本发明的密封系统，由密封胶条粘贴在一组相接触的过滤器边框与框架上，密封胶条呈双环形式，在两个全环形的密封胶条之间可有几处相联接，联接点处的高度比两个全环形的密封胶条的高度都低，而且联接点的上下两面均不与边框接触，使得在两个全环形的密封胶条之间，形成空腔环路，在与空腔环路部位相对应的框架上，可开设至少1个通气孔，用软管将通气孔与过滤器所带风机的吸入端（负压区）相连通，或者直接与大气相连通。

本发明与现有密封方法相比，有以下优点：由于是双环，有双重封堵作用，可以降低对外环渗漏压力;由于两环分开，在密封胶条上下两面均形成由边框外侧到内侧方面的不连续的接触面，切断了缝隙联通的可能，由于压紧面变小了，单位面积的压强大了，容易压紧;由于空腔环路与大气或负压区相通，在通过外环密封胶条进入空腔环路的少量漏气可以排光，不会再经由内环密封胶条缝隙渗漏到室内;能适用于单个过滤器或多个过滤器组，对于过滤器安装呈水平状态或垂直状态的洁净工作台或洁净室均适用，也适用于要求漏风量小的通风管道。

以下结合附图及实施例，对本发明做进一步描述。

图1是本发明的双环密封胶条主视图

图2是图1的A-A剖面图

图3是本发明的双环密封系统图

图4是本发明的双环密封系统用于垂直平行流洁净室图

由图1、2可见，封导结合的双环密封系统由两个环形密封胶条外环1和内环2及联接点3组成，联接点3可有八处，每一联接点均不与过滤器边框5和框架6的表面接触，在双环之间，形成空腔环路4，如此形成双环密封胶条。由图3可见，在空腔环路4与框架接触部位开设至少一个通气孔7，用软管8将通气孔与大气或负压区9相连通，如此形成双环密封系统。由图4可见，在洁净室可并列多个过滤器10，将空腔环路4与框架接触部位开设多个通气孔7，用软管8将通气孔与风机负压区9相连通。当过滤器风量为1000立方米/时，系统压力为300毫米水柱，采用海棉橡胶条时，漏气量为零;在人为形成1个缝隙孔洞时，在系统压力为100毫米水柱时，上述漏气量小于10万分之一。