[其他]极微流量气体取样阀门及其制造方法

权利要求书

1、本发明是一种极微流量的气体取样阀门，该阀门由密封阀壳(15)，导气管(9)、(10)，微漏导气片(1)，支承片(2)取样开关(4)(5)，密闭阀盖(6)等构成，其特征在于：

①微漏导气片是一带有特殊方法制作的孔径在1微米到20微米范围的微细小孔的平面玻璃片。

②开闭该微漏孔的取样开关是一碗状弹性隔膜，其顶端粘有一平面弹性密封垫片，并由顶紧机构带动隔膜对微漏孔开闭取样。

2、微漏导气片的制作方法，其特征在于：

①用高速钻头在玻璃片上钻出一尚未穿透的凹坑;

②用化学腐蚀的办法，将凹坑进一步变薄;

③用电击穿的方法将凹坑击穿。

3、微漏导气片的用途，其特征在于微漏片和导气管封合而成一标准的孔。