[其他]用于脆性材料制成的电容传感器的电路

权利要求书

1、一种压差传感器装置包括第一和第二个传感器部分，每一个部分有一块相对于传感器表面安装的单独的挠曲膜板，它能相对这个表面挠曲以形成一个单独的内部腔室；用液体互相连通内部腔室的装置，室内和所说装置中充满一定量的不可压缩的液体，腔室和所说装置用液体连接以相对于传感器表面弯曲膜板，当膜板向一个方向运动来缩小与它有关联的内部腔室体积时导致另一块膜板向增加与它有关联的内部腔室的体积方向运动，各个膜板和传感器表面间分别形成第一个和第二个感测电容器的装置，这些电容器在相反的方向变化，从这样一个压力传感器装置中提供一输出信号的装置，此信号表示作用在这个压力传感器装置中传感器元件膜板上的压差变化，用于感测传感器中第一个和第二个传感电容器的电容值的装置；其特征在于：各挠曲膜板开始时实际上与各自的表面接近，以及

与这传感器装置相联的装置，来提供一个信号F₁它代表充入到这个压力传感器装置的内部腔室中不可压缩液体的密度变化，此装置也与提供信号F₂的感测装置相连接，而信号F₂则是这个压力传感器装置的第一个和第二个电容器电容值的函数，因此，也就是传感器元件上的压差的函数。当感测的压差实际上为零时，则信号F₂实际上也为零，此装置将信号F₁和F₂相乘作为输出信号。

2、权利要求1的装置，其中最后提到的装置中包括一个用来测量这个压力传感装置的温度的温度传感装置，以提供信号F₁

3、权利要求1中的装置，其进一步的特征在于最后提到的装置中包括一个与感测装置相连的装置以提供信号F₁作为第一个和第二个传感电容器的电容的函数。

4、权利要求3中的装置，其进一步的特征在于最后提到的装置中包括提供信号F₁的装置，F₁是作为数值 (C₁C₂)/(C₁+C₂) ＝C_S的函数，数值C₁和C₂是电容值，由来自感测装置的信号所代表，C_S是C₁和C₂的串联值。

5、权利要求4中的装置，其进一步的特征在于感测装置进一步包括连接串联的第一和第二电容器的装置，以及感测与串联第一和第二电容器相并联的电容C_A的装置，最后提到的装置提供一个信号

F₁= (K)/(C_A+C_s) ，

其中K是一个常数，而C_A实际上等于C_S。

6、权利要求1的装置，其进一步的特征在于最后提到的装置包括为提供信号F₂的装置，F₂＝ (C₁-C₂)/(C₁+C₂) -A，其中C₁和C₂的数值是感测第一和第二电容器的装置的输出，而A则是一个常数。

7、权利要求1的装置，其进一步的特征在于最后提到的装置包括提供信号F₂的装置，F₂＝ (K₁)/(C₁) - (K₂)/(C₂) ，其中C₁和C₂的数值是感测第一和第二电容器的装置的输出，而K₁和K₂则是常数。

8、权利要求1中的装置，其进一步的特征在于所说感测装置包括得到一个相当于第一个和第二个电容器中的每一个电容值的数值的装置，最后提到的装置包括提供输出信号的数字处理器，输出信号则是F₁和F₂计算值的函数。