[其他]化学蒸汽淀积

权利要求书

1、一种化学蒸汽淀积设备，它包括：(a)气密反应器2，其中固定有一块或多块基片，每块基片至少有一个表面暴露于所述反应器内；

(b)加热设备3，将所述基片加热到预定反应温度；

(c)置于反应器内的多支管6，将接收一种或多种反应蒸汽，该管上有许多开孔7，用于在基片附近均匀分布所述接收到的蒸汽，于是，蒸汽在预定反应温度，在基片表面上发生反应，并且在基片上淀积一层膜；

(D)出口8，用于将所述反应器中废蒸汽抽空；

本发明的特征在于该设备的冷却装置10、21或31A和31B牢固地围绕在所述多支管外面，它们用于循环冷却液12，因此，保持多支管温度至少低于所述反应温度，以致所述反应蒸汽不致过早地在多支管内反应。

2、如权利要求1所述的化学蒸汽淀积设备，其特征在于所述多支管6和冷却装置10、21或31A和31B都用热反射材料制成。

3、如权利要求1所述的化学蒸汽淀积设备，其特征在于所述冷却液12要具有足够的热容量，以便吸收上述加热设备3所产生的热。

4、如权利要求1.2.或3所述的化学蒸汽沉积设备，其特征在于所述的冷却设备是围绕所述的多支管（它包围在所述的若干开孔7之外）并与之塌缩焊接在一起的第1同心管，两者之间形成了冷却液12的循环空间。

5、如权利要求1、2或3所述的化学蒸汽淀积设备，其特征在于所述的冷却设备包括第1同心管10和第二同心管11，第1同心管10包围在多支管6之外，以规定所述冷却液的循环空间，第2同心管11包围在所述的第1同心管10之外，以规定所述的两同心管之间抽真空的空间，用以保证第1管与所述加热设备3之间的绝热，所述的第1和第2同心管是用塌缩焊接法与包围着若干开孔7的多支管6焊在一起的。

6、如权利要求1、2或3所述的化学蒸汽淀积设备，其特征在于所述冷却设备由缠在上述多支管6外的螺旋管21组成，用于循环流过的冷却液12。

7、如权利要求1、2或3所述的化学蒸汽淀积设备，其特征在于所述冷却装置由一对围在多支管6外的同心管31A和31B组成，该管上许多小孔30与所述开孔7相接，冷却液12围着多支管6在同心流路中循环。

8、如权利要求1、2或3所述的化学蒸汽淀积设备，其特征在于所述的冷却液12是水。

9、如权利要求1、2或3所述的化学蒸汽淀积设备，其特征在于所述多支管6和冷却装置10、21或31A和31B均用不锈钢制成。

10、如权利要求1所述的化学蒸汽淀积设备，其特征在于所述反应温度范围是300℃～450℃，反应蒸汽由SiH₄、PH₃和B₂H₆组成，它们与氧在所述反应器2中反应，因此，在所述反应温度下，在所述基片1所暴露的表面上淀积一层硼-磷-硅玻璃膜。

11、如权利要求1、2或3所述的化学蒸汽淀积设备，其特征在于所述加热设备3是一种炉子，经所述反应器2的壁4往反应器内辐射热，该反应器相对于冷却装置10、21或31A和31B有足够大的表面积，以便在反应器2与多支管6之间基本上不进行传热。

12、如权利要求1、2或3所述的化学蒸汽淀积设备，其特征在于该加热设备3是经所述反应器2的壁4往反应器内辐射热的一种炉子，该反应器的表面积大约是所述冷却装置10、21或31A和31B的100倍，因此，将所述反应器2和多支管6之间的传热减小到可以忽略。

13、一种化学蒸汽淀积方法，它包括以下几步：

（a）将固定在气密反应器2中的一块或多块基片1加热到预定温度;

（b）将一种或多种反应蒸汽送入多支管6;

（c）将多支管6内蒸汽均匀地分布在基片附近，以致上述蒸汽在反应温度下反应，在基片上形成淀积层;

（d）将废蒸汽从上述反应器内抽空;

本发明的特征在于：

（e）将所述多支管内蒸汽冷却到至少低于所述反应温度，于是，可阻止冷蒸汽过早在所述多支管内反应。