[其他]宽带付立叶变换测微技术

权利要求书

1、一种用激衍射法测量微小物体直径的装置，其特征在于具有宽带付立叶变换测微镜头和用来进行动态测量而在sin²c函数各级付瓣中心所设置的PIN光电二极管。

2、根据权利要求1所述的测微装置，其特征在于宽带付立叶变换测微镜头上装有x-y方向微调器。

3、激光测微装置的校准方法，其特征在于：

（a）将标准光栅置于物面，沿光轴方向移动光栅，谱面近轴谱点;

（b）在原设计物距S附近，沿轴向移动光栅，观察各高级谱点变化情况，直至各谱点间隔的一致性达期望值，并与屏上设计刻度重合为止。

4、一种制作宽带付立叶镜头的方法，其特征在于使一般镜头按要求弯曲，产生一定的球差来满足球面镜头谱点高度：Y＝fsinν的条件，镜头的宽带线性通过改变镜头的弯曲量和物距大小来调节。

5、根据权利要求4所述的方法，其中所说的改变镜头弯曲量和物距大小是初步选定镜头面型曲率半径r₁和r₂，然后给出不同的物距S值，再用传统的光线追迹片，算出各级衍射光束主光线在谱面上的高度Y_KS并与理想值Y_K＝fsinν比较，优选一个最佳S值，使｜Y_KS-Y_K｜在某一期望带宽内小于某一期望值。