[其他]飞点式彩色扫描系统

权利要求书

1、一种扫描样品表面的彩色扫描系统包括；产生光束的装置；

处在所述光束通道中的可旋转圆盘，该圆盘有读出狭缝，读出点与所述圆盘中心的距离随旋转角的增加而增加；

使所述圆盘旋转，发射指向样品表面的光脉冲的装置，所述旋转装置的旋转角对应于所述光脉冲照射的样品取样位置。

2、根据权利要求1的彩色扫描系统;其中所述产生装置包括：

一个分光器;

一个位于分光器上的开口，用以使出射光束成为开口的形状。

3、根据权利要求2的彩色扫描系统，其中所述开口包括一个矩形出口狭缝。

4、根据权利要求3的彩色扫描系统，其中所述出口狭缝相对于所述圆盘延径向伸展。

5、根据权利要求4的彩色扫描系统，其中所述圆盘靠近所述出口狭缝装置。

6、根据权利要求4所述的彩色扫描系统。其中所述圆盘处在所述出口狭缝的成像位置。

7、根据权利要求5和6所述的彩色扫描系统，其中所述圆盘包括许多读出狭缝，这些狭缝各自绕所述圆盘的中心展开。

8、根据权利要求7所述的彩色扫描系统，其中所述圆盘还包括许多照明狭缝，这些狭缝处于两个相邻读出狭缝之间，并且在径向与两个相邻读出狭缝分开。

9、根据权利要求8所述的彩色扫描系统，其中每个照明狭缝与相邻读出狭缝有相邻的边界。

10、用于扫描样品表面的飞点式彩色扫描系统包括：

一个有一个出口狭缝的分光器，用于产生形状如所述出口狭缝的光束，

一个处在所述光束通道上的可旋转圆盘，所述圆盘有一个狭缝，它与所述圆盘中心的距离随所述圆盘旋转角的增加而增加;

旋转所述圆盘以产生照射样品表面分离部位的光脉冲的装置;

通过测量所述光脉冲穿过样品表面各部位的透射度以产生各分离部位的吸收率数据的装置;

位置检测装置，通过由所述旋转装置保持所述圆盘旋转以产生对应于各所述分离部位位置的位置数据;

存储装置，存储对应于各分离部位的吸收率数据和位置数据，

数据读出控制装置，用于确定待读出的对应各分离部位的吸收率数据的范围;

数据读出装置，用于根据所述存储装置所存储的位置数据从该存储装置读出所确定的那些吸收率数据。

11、根据权利要求10的彩色扫描系统，其中还包括分别寄存所确定的那些吸收率数据的装置。

12、根据权利要求10的彩色扫描系统，其中还包括照明控制装置，用于确定所述光脉冲在样品表面的照明度，及其控制所述产生装置以校正所述照明度的变化。

13、根据权利要求10所述的彩色扫描系统，其中所述旋转装置还包括一个脉冲电机，并且所述装置检测装置用于根据加个所述脉冲电机的脉冲数产生所述位置数据。

14、根据权利要求10的彩色扫描系统，其中所述旋转装置包括一个同步电机，并且所述位置检测装置用于根据所述同步电机的运行时间产生所述位置数据。