[其他]一种密封式单晶炉无效
申请号: | 85200367 | 申请日: | 1985-04-01 |
公开(公告)号: | CN85200367U | 公开(公告)日: | 1986-01-15 |
发明(设计)人: | 曾朝伟;苏锡珍 | 申请(专利权)人: | 中国科学院科学仪器厂 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00;C30B29/10;C30B9/00 |
代理公司: | 中国科学院专利事务所 | 代理人: | 李红,关玲 |
地址: | 北京市海*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 密封 式单晶炉 | ||
1、一种炉体内由坩埚[9]、加热器[8]、隔热罩[7]、惰性保护气体[17]、热电偶[15]、隔热垫[11]组成的密封式六硼化镧单晶炉。其特征是:具有金属炉体[10],在炉体顶部和侧面有密封法兰[1、14],密封圈[2、13]和紧固件[3、12]把炉体密封,在炉体两侧有两个金属管道,其中一个金属管道通安全阀[16],另一个与气压表[4]相连接,并通过阀门[5]与机械泵相连,通过另一阀门[6]与惰性气体瓶相连。
2、按照权利要求1所说的单晶炉,其特征在于炉内充满惰性保护气体,气体的压力等于或大于大气压力,气体一次充入后可以不再补充。
3、按照权利要求1和2所说的单晶炉,其特征在于炉内的惰性气体可以是工业纯。
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