[其他]一种密封式单晶炉无效

专利信息
申请号: 85200367 申请日: 1985-04-01
公开(公告)号: CN85200367U 公开(公告)日: 1986-01-15
发明(设计)人: 曾朝伟;苏锡珍 申请(专利权)人: 中国科学院科学仪器厂
主分类号: C30B35/00 分类号: C30B35/00;C30B29/10;C30B9/00
代理公司: 中国科学院专利事务所 代理人: 李红,关玲
地址: 北京市海*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 密封 式单晶炉
【权利要求书】:

1、一种炉体内由坩埚[9]、加热器[8]、隔热罩[7]、惰性保护气体[17]、热电偶[15]、隔热垫[11]组成的密封式六硼化镧单晶炉。其特征是:具有金属炉体[10],在炉体顶部和侧面有密封法兰[1、14],密封圈[2、13]和紧固件[3、12]把炉体密封,在炉体两侧有两个金属管道,其中一个金属管道通安全阀[16],另一个与气压表[4]相连接,并通过阀门[5]与机械泵相连,通过另一阀门[6]与惰性气体瓶相连。

2、按照权利要求1所说的单晶炉,其特征在于炉内充满惰性保护气体,气体的压力等于或大于大气压力,气体一次充入后可以不再补充。

3、按照权利要求1和2所说的单晶炉,其特征在于炉内的惰性气体可以是工业纯。

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