[其他]四探针头无效
| 申请号： | 85201272 | 申请日： | 1985-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN85201272U | 公开（公告）日： | 1986-02-19 |
| 发明（设计）人： | 曾南珍;伍乃文;阎雅新;王世进 | 申请（专利权）人： | 广州半导体材料研究所 |
| 主分类号： | G01R27/14 | 分类号： | G01R27/14 |
| 代理公司： | 广东省专利事务所 | 代理人： | 李志明 |
| 地址： | 广东省广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 探针 | ||
【权利要求书】：
1、一种测量半导体材料电阻率的四探针头，其特征是采用定位锥头并在每根探针导孔上浇注二粒专用红宝石轴套的定位机构。同时采用平面弹簧片和螺旋圈作探针的弹性元件。
2、根据权利要求1，其特征是采用上、下注模精密固定探针，中模置于上下模之间进行浇注。
3、根据权利要求1，其特征是弹簧片加工成弓形与弧形的弹性缺口，这种结构可以保持与探针有三点的弹性接触。
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