[其他]氮氢保护气体链式烧结炉无效
| 申请号： | 85203863 | 申请日： | 1985-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN85203863U | 公开（公告）日： | 1986-07-09 |
| 发明（设计）人： | 刘江禄;房振华 | 申请（专利权）人： | 刘江禄;房振华 |
| 主分类号： | F27B5/04 | 分类号： | F27B5/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 浙江省湖州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 保护 气体 链式 烧结炉 | ||
【权利要求书】：
1、一个半导体芯片烧结及封装用的链式烧结炉，它是由传送链带「1」、烧结管「2」、加热炉「9」、冷却水套「11」、驱动系统「12」、排气管「14」以及抽风机「15」等组成。其特征是在传送链带「1」上设置一系列气体防护档板「3」。
2、按权利要求1所述的链式烧结炉，其特征是所有气体防护档板等间距垂直地固定在链带「1」上，其法线与链带运动方向平行。
3、按权利要求1所述的链式烧结炉，其特征是所有气体防护档板尺寸相同，其左、右、上边缘与矩形烧结管「2」内壁之间的缝隙宽度为0.5～2.5mm。
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