[其他]三向坐标电容传感测试装置无效
| 申请号： | 86104058 | 申请日： | 1986-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN1005216B | 公开（公告）日： | 1989-09-20 |
| 发明（设计）人： | 吕刚 | 申请（专利权）人： | 能源部南京自动化研究所 |
| 主分类号： | 分类号： | ||
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 江苏省南京*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 坐标 电容 传感 测试 装置 | ||
【权利要求书】：
1、一种测量两固定物体（M、N）之间相对位置变化的变电容式座标传感测试装置，它包括：
（1）底板（8）位于相互垂直的X、Y轴平面上，将其水平地固定在第一物体（M）上，上述底板（8）上有一通孔;
（2）两对极板（1、2）和（3、4）分别平行于上述的Y轴和X轴，并垂直地对称安装在上述底板（8）上;
（3）第一中间极板（5）经上述底板（8）上的通孔安装在Z轴件上，并与Z轴平行，上述Z轴件固定到第二物体（N）上，上述第一中间极板（5）与上述两对极板（1、2）和（3、4）分别构成测量两物体（M、N）在X、Y轴向上相对位置变化的两对差动电容;
本发明的特征在于上述装置还包括：
（4）第二中间极板（16）固定在上述Z轴件上，并与Z轴垂直;
（5）一对与上述第二中间极板（16）平行的极板（6、7）固定在上述底板（8）上，该对极板（6、7）与上述第二中间极板（16）构成测量两物体（M、N）在Z轴向上相对位置变化的一对差对电容;
（6）桥式测量电路经导线与上述各差动电容极板连接测出各差动电容比值求出两物体（M、N）在X、Y、Z各轴向上相对位置变化。
2、按权利要求1所述的测试装置，其特征在于上述各差动电容极板（1、2、3、4、5、6、7、16）的材料为金属材料，或采用热稳定性好的绝缘材料表面涂复金属膜。
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