[发明专利]形成非晶态多元金属合金覆层的方法无效
申请号: | 86104496.7 | 申请日: | 1986-07-02 |
公开(公告)号: | CN1007915B | 公开(公告)日: | 1990-05-09 |
发明(设计)人: | 迈克尔·艾伦·坦霍弗尔;理查德·斯科特·亨德森;罗伯特·卡尔·格拉西里 | 申请(专利权)人: | 标准石油公司 |
主分类号: | C23C16/06 | 分类号: | C23C16/06;C23C16/18;C23C16/30 |
代理公司: | 中国专利代理有限公司 | 代理人: | 罗才希 |
地址: | 美国俄亥俄州*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 形成 晶态 多元 金属 合金 覆层 方法 | ||
1、一种在基底上沉积大体上为非晶态的多元金属合金覆层的方法,该方法包括以下步骤:
(a)准备至少两种含金属的起始化合物,各含有所说的非晶态的多元金属覆层所需要的一种金属,这些起始化合物的分解温度要低于将要形成的非晶态多元金属覆层的结晶温度,
(b)在封闭系统中把上述基底加热到至少为上述起始化合物的分解温度,
(c)使上述起始化合物蒸发,
(d)蒸发的起始化合物与基底在上述系统中接触,使上述大体上为非晶态的多元金属覆层在上述基底上形成;
上述大体上为非晶态多元金属覆层由下式表示:
MaM1bRc
其中,M为至少一种选自于Mo、W、Nb和Ta的元素,
M′为至少一种选自于Fe、Ni、Co、Mn和Cr的元素,
R为至少一种选自于P、B、N、As、S、Si和C的元素,
a范围为大约0.15至大约0.85,
b范围为大约0.15至大约0.85,
c范围为0至大约0.25,限制条件为当M包括Cr时,那么总数(除Cr外的M′元素的下标b与C的总和)至少为0.15
2、按照权利要求1的方法,其中所说的含金属起始化合物包括有机金属化合物。
3、按照权利要求1的方法,其中还提供有非金属辅助起始化合物,该起始化合物包括一些选自于氮、碳、硼、磷、砷、硫和硅这一组中的元素。
4、按照权利要求1的方法,其中所说的基底包括一种选自于玻璃、钛、铜、钢、碳、氧化铝和镍的材料。
5、按照权利要求1的方法,其中所说的基底被加热到大约100℃和700℃之间。
6、按照权利要求1的方法,其中所说的封闭系统的压力维持在大约1×10-6乇至大约700乇。
7、一种带有大体上为非晶态的多元金属合金覆层的制品,该制品包括基底和大体上为非晶态多元金属合金覆层,其特征在于,
上述大体上为非晶态多元金属覆层由下式表示
MaM′b Rc
其中,M为至少一种选自Mo、W、Nb和Ta的元素,
M′为至少一种选自Fe、Ni、Co、Mn和Cr的元素,
R为至少一种选自于P、B、N、As、S、Si和C,中的元素,
a范围为大约0.15至大约0.85,
b范围为大约0.15至大约0.85,
c范围为0至大约0.25,
限制条件为:当M′包括Cr时,那么总数(除Cr外的M′元素的下标b与c的总和)至少为0.15,
8、按照权利要求7的带有大体上为非晶态多元金属合金的制品,其中所说合金含的非金属元素选自磷、硼、氮、砷、硫、硅和碳。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的