[其他]配制液态掺杂剂稀溶液的气体载运方法及其装置

权利要求书

1、配制液态掺杂剂的稀溶液，把极少量高纯掺杂剂加入到少量超纯基质液中，本方法的特征是通过载气携运完成。

2、根据权利要求1所述方法的配液操作，其特征是它包括载气冲洗管道、纯化掺杂剂、冲净管道中的掺杂剂、气体载运、全溶与混匀等五步组成的固定程序。

3、使用如权利要求1所述方法的装置，为载气顺经质量流计（1），四通活塞（7）连结的恒温冒泡瓶（2），四通活塞（8）连结的恒温冒泡瓶（3），三通活塞（9）连结的吸收瓶（11），最后放空。其特征为：先通过的冒泡瓶（2）为掺杂剂冒泡瓶，后者（3）为基质液冒泡瓶;瓶（2）可带或不带有螺旋叶，瓶（3）带有螺旋叶。