[其他]电弧点火装置

权利要求书

1、在含有一个阳极和一个阴极，并在一施加的电弧电压下起作用而在阳极和阴极的对阴极表面之间持续一电弧的真空等离子体发生装置里一用于引发电弧的点火装置，包括：

一个长度为L的，其边缘与对阴极表面边缘并置间距为D的细长金属点火器元件；

一个具有桥接表面的绝缘元件，被放置得使桥接表面在点火器元件和对阴极表面边缘间连接；

在点火器元件和阳极间设置的一个简单的电连接；以及

一层淀积在桥接表面的导电薄膜；

为了使至少有一部分导电薄膜在施加电弧电压时汽化并从而引发电弧，长度L要够大而间距小要够小。

2、按照权利要求1所述的点火装置，其特征在于，L约大于5厘米，距离D约在1毫米和10毫米之间。

3、按照权利要求1所述的点火装置，其特征在于，点火器元件和绝缘元件大体上环绕对阴极表面。

4、按照权利要求3所述的点火装置，其特征在于，对阴极表面为圆形，而点火器元件和绝缘元件做成环形。

5、按照权利要求1所述的点火装置，其特征在于，内缘做成许多与桥接表面接触的锯齿。

6、按照权利要求1所述的点火装置，其特征在于，等离子体发生装置适用于借助阴极材料靠来自对阴极表面的电弧而汽化来镀覆基片，而在桥接表面上的导电薄膜系由一部分汽化的阴极材料所淀积。

7、按照权利要求1所述的点火装置，其特征在于，简单的电连接包括一小于约15欧姆的电阻元件。

8、按照权利要求1所述的点火装置，其特征在于，简单的电连接包括在电弧被引发以后立即断开电连接的开关装置。

9、按照权利要求1所述的点火装置，其特征在于，绝缘元件做成环绕对阴极表面的形状，并由一种绝缘材料构成，具有（a）在电弧的带电粒子的平均能量下小于1的次级发射率，以及（b）一小于汽化的对阴极材料表面能量的表面能量，以约束阴极灼点到对阴极表面。

10、按照权利要求9所述的点火装置，其特征在于，绝缘材料包括氮化硼。

11、一个真空电弧镀覆装置，包括：

一个阳极;

一个在其上有对阴极表面的阴极;

一个长度为L、其边缘与对阴极表面边缘并置间距为D的细长金属点火器元件;

一个具有桥接表面的绝缘元件，被置放得使桥接表面在点火器元件与对阴极表面边缘之间连接;

在点火器元件和阳极之间设置的一个简单的电连接;以及

一个用于提供电弧电压以便在阳极和对阴极表面之间持续电弧，使电弧从对阴极表面汽化阴极材料，从而在桥接表面上淀积一层导电薄膜的装置;

长度L要够大，而间距D要够小，为的是在电弧电压终止后接着再施加电弧电压时使导电薄膜汽化，并因而在连续施加电弧电压时，再引发电弧。

12、按照权利要求11所述的镀覆装置，还包括在桥接表面上不存在导电薄膜的情况下用以引发电弧的单独的起动装置。

13、按照权利要求12所述的镀覆装置，其特征在于，单独的起动装置至少包括一被连接到点火器元件并伸展到对阴极表面与之电接触的导电的并可更换的指状元件，在桥接表面上不存在导电薄膜的情况下，在施加电弧电压时，指状元件可汽化而引发电弧。

14、按照权利要求11所述的镀覆装置，其特征在于，绝缘元件取用环绕对阴极表面并与之接触的形状，并由一种绝缘材料构成，具有（a）在电弧的带电粒子的平均能量下小于1的次级发射率，以及（b）小于汽化的对阴极材料表面能量的表面能量，以便约束阴极灼点到对阴极表面。

15、按照权利要求14所述的镀覆装置，其特征在于，绝缘材料包括氮化硼。

16、按照权利要求11所述的镀覆装置，其特征在于，点火器元件取用环绕对阴极表面的形状，并且由导磁材料构成，以约束阴极灼点到靶表面。

17、按照权利要求16所述的镀覆装置，其特征在于，点火器元件具有一个防止感应电流在点火器元件里流动的横向间隙。

18、按照权利要求11所述的镀覆装置，其特征在于，电弧电压有一个约小于100伏特的断路值。