[发明专利]X射线源无效
申请号: | 86105121.1 | 申请日: | 1986-08-21 |
公开(公告)号: | CN1008671B | 公开(公告)日: | 1990-07-04 |
发明(设计)人: | 副岛启义 | 申请(专利权)人: | 株式会社岛津制作所 |
主分类号: | G21G4/00 | 分类号: | G21G4/00 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利代理部 | 代理人: | 范本国 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 射线 | ||
1、一种用于产生至少一束X射线束并聚焦在一个样品上的小区域内的X射线源,包括:
·至少一个具有一个入口端和一个出口端的毛细管单元,
·一个位于上述的至少一个毛细管单元的入口端的X射线靶,用于在上述的至少一个毛细管单元中产生至少一束X射线束,
其特征在于:
·用于吸收在上述的至少一个毛细管单元中因上述的至少一束X射线束的产生而产生的多余电子束的薄膜装置,上述的薄膜装置位于上述的至少一个毛细管单元的出口端,
·用于向上述的X射线靶发射一束会聚电子束源而使产生的上述至少一束X射线束处于上述的至少一个毛细管单元中,
·装在上述的至少一个毛细管单元的内轴面上,用于把上述的至少一个X射线束全部反射的装置,其中,至少一束被反射的X射线束穿过上述的薄膜单元聚焦在上述的至少一个毛细管单元之外的一个预定距离上。
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