[其他]从衬底上去除薄膜的气态方法和设备

权利要求书

1、一种去除衬底上至少部份薄膜的方法，包括把衬底曝露在氟化氢气体及水分里，其特征在于包括：

-从分开的可控的发生器提供流动的无水氟化氢气体和水分，在薄膜的去除部分上，它们彼此起反应，

-在衬底在受到流动的无水氟化氢作用之前、之后以及过程中，连续地流动干燥的惰性稀释剂气体在衬底和薄膜上进行复盖。

2、根据权利要求1所述的方法，其特征在于，同时有各自的发生器提供流动蒸汽形式的水分和无水氟化氢气体。

3、根据权利要求1所述的方法，其特征在于，带有吸湿特性薄膜的衬底，在使用无水氟化氢气体之前，使所述薄膜先吸收水分。

4、根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述衬底与所述惰性气体的暴露是处在接近室温的温度。

5、根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述衬底是处在接近通常大气压的压强下暴露。

6、根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在直至35英寸水柱的压强条件下对所述衬底进行曝露。

7、根据权利要求2所述的方法，其特征在于，在把衬底曝露在无水氟化氢之前，先通入所述蒸汽复盖所述衬底，对薄膜进行予处理。

8、根据权利要求7所述的方法，其特征在于，在予处理期间以及在把衬底曝露在无水氟化氢气体之下的整个期间，连续不断地通入蒸汽来复盖衬底。

9、根据权利要求2所述的方法，其特征在于，其本上同时终止无水氟化氢气体和水蒸汽的通入，以停止对薄膜的去除。

10、根据权利要求3所述的方法，其特征在于，在把衬底曝露在无水氟化氢气体中之前，水分以流动蒸汽的形式加入来复盖所述衬底，在把衬底曝露在无水氟化氢气体中期间，中断加入水分。

11、根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在连续通入稀释剂惰性气体时，中断通入无水氟化氢气体，以停止薄膜的去除。

12、根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述惰性气体是干燥的氮气。

13、根据权利要求1所述的方法，其特征在于，把所述衬底的多个表面暴露在气体和水分中。

14、根据权利要求2所述的方法，其特征在于，在所述干燥的稀释剂惰性气体存在下，把多块衬底同时曝露在所述无水氟化氢气体之中。

15、根据权利要求2所述的方法，其特征在于，惰性气体将水蒸汽带入无水氟化氢气体中，使其中存有水蒸汽。

16、根据权利要求1所述的方法，其特征在于，衬底的曝露延续一个从5秒到30秒范围内的一段时间。

17、根据权利要求1所述的方法，其特征在于，改变无水氟化氢气体与干燥的稀释剂惰性气体的相对比例，来改变薄膜的去除速度。

18、根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在持续曝露衬底的时候，转动衬底。

19、用于处理衬底，以便从衬底上去除薄膜的装置，包括一个用于封闭衬底，并且有向大气敞开的排气孔的外理室，其特点在于，

-以流体连通关系与处理室连接的气体混合装置，用于提供处理室中的混合气体，

-与气体混合装置连接的无水氟化氢气体的第一发生源，

-干燥的惰性气体的第二发生源，

-水蒸汽的第三发生源，