[其他]参比式高分辨率多用激光光学分析仪

权利要求书

1、1984年，美国光学学会杂志《应用光学》(APPLIEDOPTICS/Vo123No21/1Novenmber1984)谈到一种被认为是先进的双折射测量方法及其仪器，其方法是先测出激光的垂直偏振光强Ⅰ_⊥，再测出激光的平行偏振光强Ⅰ₁₁，按下公式求出被测物的光程差R来：

|R|=Nπ+2Tan^-1I┴/ I 11]]>N=0,2,4,……（1）

｜R|=(N+1)π-2Tan^-1I┴/ I 11]]>N=1,3,5,……（2）

其结构是：一个光电转换器、一个激光光源、起偏镜、检偏镜、显示器及记录装置。

本发明在方法上的特征是，为消除系统中各不稳定因素带来的误差，引入参比计算方法计算光程差，为测量微区(直径为微米数量级的区域)光程差引入光强法分辨率法，并由此引入跟踪法确定各点主应力方向、等倾线、等色线和程差级序。

2、根据权利要求1所说的发明，其特征是参比计算方法是通过I^′₀（t）、I_⊥（t）（或I₁₁（t））计算出光程差来

R = λπa r c S i n I ┴( t ) f K′I 0′( t )……(3)]]>

R = λπa r c S i n1 - I 11( t ) f K′I 0′( t )……(4)]]>

式中：I_⊥（t）是第一光电转換器所测激光垂直偏振光的光强;

I₁₁（t）是第一光电转換器所测激光平行偏振光的光强;

I^′₀（t）是第二光电转換器所测的激光光强;

λ是激光波的波长;

K′是和光学系统吸收和反射有关的常数;

f是和被测物吸收和反射有关的常数。

3、根据权利要求1所说的发明，其特征是光强法分辨率是为观测微小局部光程差（直径为微米数量级区域）而突破显微放大对物镜数值孔径（NA）的限制，由物镜13、第一目镜17和第二目镜18组成高放大倍数镜组实现。