[发明专利]将光掩膜敷到印刷线路板上的装置

权利要求书

1、一种用于在光敏接收元件上敷柔性光掩膜的装置，包括：

一个外壳;

用于支承外壳中的光敏接收元件的支承装置;

用于将柔性光掩膜一端固定在所述外壳上，与所述光敏接收元件对准的固定装置;

上述用于在光敏接收元件上敷柔性光掩膜的敷设装置的特征在于，它还包括：

用于将柔性光掩膜敷在光敏接收元件上时靠张力保持所述柔性光掩膜的保持装置，该装置与所述敷设装置相离，并且

在所述敷设装置将柔性光掩膜敷在光敏接收元件上时位于所述敷设装置附近并在所述敷设装置和所述光掩膜的自由端之间。

2、根据权利要求1所述的装置，其特征还在于：所述保持装置包括：用于在所述保持装置和所述光掩膜之间保持滑动真空接触的真空限制装置。

3、根据权利要求2所述的装置，其中敷设装置包括一辊子。

4、根据权利要求3所述的装置，其特征还在于：有用于支承辊子和真空限制装置的可动支座，该支座可移动地安装在外壳上，引导辊子和真空限制装置从光敏接收元件一端到另一端，以使辊子将柔性光掩膜压到光敏接收元件上，同时通过真空限制装置在柔性光掩膜上加以张力。

5、根据权利要求4所述的装置，其特征还在于，用于沿外壳上的可动支座移动辊子和真空限制装置的移动装置。

6、根据权利要求1所述的装置，其中：外壳包括至少一个设置在支承装置下面一定距离处的光化灯，并还包括为灯供电的供电装置。

7、根据权利要求6所述的装置，其中：支承装置可绕枢轴旋转地固定在外壳上，供电装置在支承装置绕轴转过180度时自动启动。

8、根据权利要求1所述的装置，还包括将光聚合物涂敷在所述光敏接收元件上的基片上的装置。

9、根据权利要求1所述的装置，其中所述固定装置包括用于将所述光掩膜铰接到所述外壳的铰链装置。

10、一种将柔性光掩膜敷在光敏接收元件上的方法，包括以下步骤：

将光掩膜置于对准并且不接触光敏接收元件的位置;

用辊子将柔性光掩敷在光敏接收元件上;

其特征在于以下步骤：

当辊子将柔性光掩膜敷在光敏接收元件上时，用与所述辊子相分离并靠近所述辊子，位于所述辊子和所述光掩膜的自由端之间的保持装置保持柔性光掩膜受拉。

11、根据权利要求10所述的方法，其特征还在于：所述保持步骤包括：在辊子将柔性光掩膜敷到光敏接收元件上时，用靠近所述辊子并位于所述辊子和所述光掩膜的自由端之间的所述保持装置将真空负压加在所述光掩膜上。

12、根据权利要求10所述的方法，其中光敏接收元件包括涂敷有光聚合物的基片。

13、根据权利要求12所述的方法，其中基片为带有导电材料涂复层的印刷线路板。

14、根据权利要求13所述的方法，其中导电材料是铜。

15、根据权利要求12所述的方法，还包括用光化光固化光聚合物的步骤。