[发明专利]具有在有微不平整内表面的球形凹痕的基底上的光接收层的光接收元件

权利要求书

1、一个光接收元件，包括一个基底和一个沉积在其上的光接收层，其特征在于：

所述基底有一个由多个球形凹痕形成的不平状面，所述凹痕提供有一具有微小不平整性的内表面；及所述光接收层是一个具有依次从所述基底的一侧沉积的一个内层和一个外层的多层结构。所述内层由一个包含硅原子，至少锗原子和/或锡原子，和至少氢原子和/或卤原子的非晶材料组成的，而所述外层是由一个包含作为主构分的硅原子和包含至少氢原子和/或卤原子及既不包含锗原子又不包含锡原子的非晶材料组成的。

2、权利要求1所述的光接收元件，其中基底的不平状表面由球形凹痕组成的。这些凹痕具有相同的曲率半径和宽度。

3、权利要求1的光接收元件，其中的基底的不平状表面是由在基底表面上的多个刚性球撞击形成的，每个所述的球具有微小不平整性的表面。

4、权利要求3的光接收元件，其中基底的不平状表面是由许多约为相同直径的刚性球以大约相同的高度自由落至该基底的表面撞击形成的。

5、权利要求1所述的光接收元件，其中，所述的球形凹痕具有的曲率半径R和宽度D符合下述等式：

0.035≤ (D)/(R) ≤0.5

6、权利要求1所述的光接收元件，其中，所述球形凹痕具有的宽度满足下述等式。

D≤0.5mm

7、权利要求1所述的光接收元件，其中所述微小不平整具有的高度h为

0.5μm≤h≤20μm

8、权利要求1所述的光接收元件，其中的基底是一金属体。

9、权利要求1所述的光接收元件，其中，内层包含均匀地分布在整个层区的锗原子。

10、权利要求1的光接收元件，其中，内层包含在层的厚度方向不均匀地分布的锗原子。

11、权利要求1所述的光接收元件，其中，内层包含均匀在分布在整个层区的锡原子。

12、权利要求1的光接收元件，其中，内层包含在层的厚度方向不均匀地分布的锡原子。

13、权利要求1的光接收元件，其中，内层包含均匀地分布在整个层区的锗原子和锡原子两者。

14、权利要求1的光接收元件，其中的内层包含不均匀地分布在层的厚度方向的锗原子和锡原子两者。

15、权利要求1的光接收元件，其中内层包含数量为1至6×10⁵原子ppm的锗原子。

16、权利要求1的光接收元件，其中的内层包含数量为1至6×10⁵原子ppm的锡原子。

17、权利要求1的光接收元件，其中内层包含数量为1至6×10⁵原子ppm的锡原子和锗原子两者。

18、权利要求1的光接收元件，其中的光接收层包含数量为1至40原子百分比的氢原子。

19、权利要求1的光接收元件，其中的光接收元件包含数量为1至40原子百分比的卤原子。

20、权利要求1的光接收元件，其中光接收层包含氢原子和卤原子两者，其总量为1至40原子百分比。

21、权利要求1的光接收元件，其中光接收层包含数量为0.001至1×10³原子ppm的，从由周期表中的Ⅲ族和Ⅴ族原子组成的族中选出来的一类原子。

22、权利要求1的光接收元件，其中光接收层还包括位于基底的一侧起电荷注入阻挡层作用的层区。

23、权利要求22的光接收元件，其中所述的层区包含一类从由周期表的Ⅲ族和Ⅴ族组成的族中选出来的原子，并以高分布密度分布，在该层区。

24、权利要求23的光接收元件，其中上述原子的密度是从30至5×10⁴原子ppm。

25、权利要求1的光接收元件，其中的光接收层在基底的一侧还包括一阻挡层，该阻挡层从由Al₂O₃，SiO₃，Si₃N₄和聚碳酸酯构成的族中选出的电气绝缘材料组成。