[其他]溅射涂层设备用的靶中的阴极/接地屏蔽配置

权利要求书

1、一种溅射涂层设备用的靶，它包括一个阴极和一个接地屏蔽，阴极有一个在其上面配置了溅射靶物质的外表面，接地屏蔽与阴极有联系，它对阴极的空间位置关系是使两者之间形成一个将阴极和接地屏蔽互相隔开的间隙，这种靶的特征在于，该间隙(96)完全填满了电绝缘材料(102)。

2、一种如权利要求1所述的溅射涂层设备用的靶，其特征在于，上述绝缘材料（102）为陶瓷绝缘材料。

3、一种如权利要求2所述的溅射涂层设备用的靶，其特征在于，上述陶瓷绝缘材料由氧化铝构成。

4、一种如权利要求1、2或3所述的溅射涂层设备用的靶，其特征在于，阴极（56）具有安装在上述阴极外表面（60）的周边部分（66）上的机构（90），该机构形成一个连续的凸缘（94），该凸缘向外延伸，超出上述周边部分（66），悬在上述间隙（96）和与周边部分（66）隔开的接地屏蔽（84）毗邻边缘（86）的上面。

5、一种如权利要求4所述的溅射涂层设备用的靶，其特征在于，形成上述凸缘（94）的机构（90）由在上述阴极的周边部分（66）之上的沿周缘围绕上述阴极（56）的外表面（60）延伸的条板配置而成。

6、一种如权利要求5所述的溅射涂层设备用的靶，其特征在于，上述溅射靶材料（58）与一个止动圈（65）相结合，该止动圈围绕溅射靶材料并被支承在上述阴极（56）外表面（60）的上述周边部分（66）上，上述条板（90）被紧固在上述止动圈（65）上。