[其他]聚丁二烯系正型抗蚀剂及合成方法

权利要求书

1、聚丁二烯系正型感光性高分子合成方法，该系化合物的结构[Ⅲ]为：

n+m=15-45

n/m=2-4，

其特征在于：

1.1用重均分子量1000～3000，环氧值0.3-0.6的1，2-聚丁二烯环氧与没食子酸在催化剂N，N--二甲基苄胺作用下，以1，4-二氧六环为溶剂，反应温度控制在100～130℃，而得到如下结构[I]的聚丁二烯没食子酸酯：

式中n、m取值同[Ⅲ]

1.2用酸酐类化合物将聚丁二烯没食子酸酯化，得到如下结构[Ⅱ]的复合酯化物：

式中n、m取值同[Ⅲ]，

1.3用上面两步所得产物[I]、[Ⅱ]分别与不同比率的重氮萘醌磺酰氯在碱性脱HCl剂作用下得到聚丁二烯系正型感光性高分子[Ⅲ]。

2、按照权利要求1所述的聚丁二烯系正型感光性高分子合成方法，其特征在于合成中间产物〔Ⅰ〕时选用重均分子量1000～1500，环氧值0.4～0.5的1，2-聚丁二烯环氧和与环氧团摩尔数相同或相近的没食子酸。

3、按照权利要求1或2所述的聚丁二烯系正型感光性高分子合成方法，其特征在于合成中间产物〔Ⅱ〕时酸酐类化合物选用与环氧团等摩尔的醋酸酐，酯化温度为40～80℃。

4、按照权利要求1或2所述的聚丁二烯系正型感光性高分子合成方法，其特征在于合成终产物〔Ⅲ〕时，选用熔点在125℃以上，尤其是130～132℃的纯品2，1，5-重氮萘醌磺酰氯，其导入率控制在 1/3 ～ 1/2 之间。

5、按照权利要求3所述的聚丁二烯系正型感光性高分子合成方法，其特征在于合成终产物〔Ⅲ〕时选用熔点在125℃以上，尤其是130～132℃的纯品2，1，5-重氮萘醌磺酰氯，其导入率控制在 1/3 ～ 1/2 之间。

6、一种由感光性高分子、粘结高分子和有机溶剂组成的正型抗蚀剂，其特征在于含有（重量比）：

1  聚丁二烯系正型感光性高分子〔Ⅲ〕作为感光性高分子

1-3  间甲酚酚醛树脂作为粘结高分子。

18-36  乙二醇独甲醚作为溶剂。

7、按照权利要求6所述的正型抗腐剂，其特征在于其最佳组成（重量比）为：

1  聚丁二烯系正型感光性高分子〔Ⅲ〕

1.5-2.5  间甲酚酚醛树脂

22.5-31.5  乙二醇独甲醚。