[其他]光接收元件

权利要求书

1、一种光接收元件，它包括一个基底、一层光敏层和一层表面层，所说的光敏层由含有硅原子并且至少含有锗原子或者锡原子的非晶材料制成，所说的表面层由含有硅原子并且含有从氧原子、碳原子和氮原子中选出的至少一种原子的非晶材料构成，所说的基底具有由球形凹痕构成的不平整表面，每个凹痕又具有微小的不平整内表面，并且一个光频带隙匹配在所说的光敏层和所说的表面层之间的界面上。

2、如权利要求1所定义的光接收元件，其中光敏层含有从氧原子、碳原子和氮原子中迭出的至少一种原子。

3、如权利要求1所定义的光接收元件，其中光敏层含有一种能控制导电率的物质。

4、如权利要求1所定义的光接收元件，其中光敏层是一种多层结构。

5、如权利要求1所定义的光接收元件，其中光敏层的组成层之一是由一种能控制导电率的物质构成的电荷注入阻挡层。

6、如权利要求1所定义的光接收元件，其中光敏层的组成层之一是隔离层。

7、如权利要求1所定义的光接收元件，其中基底上的不平整表面是由具有相同曲率半径和相同宽度的球形凹痕构成的。

8、如权利要求1所定义的光接收元件，其中基底上的不平整表面是由许多具有微小不平整面的刚球自由地下落在基底表面上形成的。

9、如权利要求8所定义的光接收元件，其中基底上的不平整表面是由许多直径几乎相同的刚球从几乎相同的高度自由地下落在基底表面上形成的。

10、如权利要求1所定义的光接收元件，其中球形凹痕的曲率半径R和宽度D满足下式：

0.035≤ (D)/(R) ≤0.5

11、如权利要求6所定义的光接收元件，其中球形凹痕的宽度D满足下式：

D≤0.5mm

12、如权利要求1所定义的光接收元件，其中微小的不平整面的高度h满足下式：

0.5μm≤h≤20μm

13、如权利要求1所定义的光接收元件，其中基底是一个金属体。