[其他]超高真空自动阀门-液压驱动

权利要求书

1、一种用于无油高真空或超高真空系统的自动阀门，由阀体、阀门及阀门的操作部分所组成，其特征是阀门的操作部分采用活塞式液压缸，阀门部分直接通过阀杆10与活塞相连接，该部分由不锈钢波纹管9形成可活动的密封结构。阀头8与阀体7上的其轴向截面有两条斜线构成呈刀口状的阀座间有软性材料做成的阀盖6，以形成良好的密封。

2、根据权利要求1所述的自动阀门，其特征是所说液压缸的动力是由配置的小型液压驱动装置提供的。

3、根据权利要求1所述的自动阀门，其特征是所说的阀盖6可以由氟橡胶或无氧铜制成。

4、根据权利要求3所述的自动阀门，其特征是制成阀盖6的氟橡胶是经过烘烤处理的。

5、根据权利要求1所述的自动阀门，其特征是将所说的呈刀口状的阀座顶端制成具有一定的曲率半径。