[发明专利]电蚀穿孔加工时冲净蚀除区的方法和设备

权利要求书

1、一种电蚀穿孔加工过程中冲净蚀除区的方法，其中工具电极的电介质中接触工件，在该方法中电极是重复地离开工件上升至一预定的行程高度而然后再下降至工件，而行程高度和行程之间的时间间隔各按照几个预定值中的一个来选定，其特征在于：

(a)电极离开工件上升至高的行程高度而然后下降至工件；

(b)此后，电极离开工件上升至低的行程高度而然后下降至工件；

(c)此后，电极至少再一次离开工件上升至低的行程高度而然后下降至工件；以及

(d)重复步骤(a)和(c)的工序作为连续的操作过程。

2、根据权利要求1所述的方法，其特征在于，连续的低行程的升降运动之间的时间间隔保持恒定。

3、根据权利要求1所述的方法，其特征在于，连续的升降运动的起始时间之间的时间间隔保持恒定。

4、根据权利要求1所述的方法，其特征在于，连续的升降运动的结束时间之间的时间间隔保持恒定。

5、根据权利要求1所述的方法，其特征在于，低行程高度的连续的升降运动的次数和/或低行程高度的连续的升降运动的行程高度保持恒定。

6、根据权利要求1所述的方法，其特征在于，低行程高度的升降运动的行程高度为高行程高度的升降运动的行程高度的1/20至3/4。

7、根据权利要求6所述的方法，其特征在于，低行程高度的升降运动的行程高度为高行程高度的升降运动的行程高度的1/10至1/2。

8、根据权利要求7所述的方法，其特征在于，低行程高度的升降运动的行程高度为高行程高度的升降运动的行程高度的1/6至1/3。

9、根据权利要求1所述的方法，其特征在于，连续的升降运动之间的时间间隔是受控制的。

10、根据权利要求9所述的方法，其特征在于，在调定连续的升降运动之间的受控时间间隔的过程中

（a）在预定持续时间的起始阶段期间，蚀除过程是允许开始的，同时监控蚀除区短路的发生，而当短路发生时就进行高行程高度的升降运动，

（b）测定在起始阶段期间的短路发生次数以及其对应的时间间隔，和由此确定短路发生之间的平均时间间隔，以及

（c）短路发生之间的平均时间间隔被用作连续的升降运动之间的时间间隔。

11、根据权利要求10所述的方法，其特征在于，受控的时间间隔被控制得比短路情况之间的平均时间间隔小一个预定的安全值。

12、根据权利要求9所述的方法，其特征在于，为了控制连续的升降运动之间的时间间隔

（a）监控蚀除区短路的发生，而当短路发生时就进行一个与时间间隔的电流值无关的即刻的升降运动，

（b）确定这种与时间间隔的电流值无关而进行的即刻的升降运动的运行的频率，

（c）按照这个频率的函数控制时间间隔，产生一时间间隔的修正值。

13、根据权利要求12所述的方法，其特征在于，当在一预定的时间周期内已发生多过一个短路时，按照这个频率的函数以下述方式控制时间间隔：使时间间隔的修正值低于时间间隔的以前的电流值。

14、根据权利要求12所述的方法，其特征在于，当在一预定的时间周期内没有发生短路时，按照这个频率的函数以下述方式控制时间间隔：使时间间隔的修正值高于时间间隔的以前的电流值。

15、一种电蚀穿孔加工过程中冲净蚀除区的设备，其中工具电极在蚀除区电介质中接触工件;设置有第一装置，用以将电极离开工件上升至高的行程高度而然后将它下降至工件;设置有第二装置，用以将电极离开工件上升至低的行程高度而然后将它下降至工件;从而将第一和第二装置合并到一个适宜于移动电极的两级升降器中，以便进行至少一个在连续的高行程高度的升降运动之间的低行程高度的升降运动;其特征在于，所述的设备包括：

（a）短路监控器，它在蚀除区发生短路时发出一个短路信号，且系这样连接到两级升降器上，使得电极响应短路信号移动，以便进行一个即刻的升降运动;以及

（b）用以确定这种即刻的升降运动的运行的频率的器件，其信号输出端连接至设置在两级升降器上的校正元件的校正输入端上，用以按照此频率的函数控制受控的时间间隔。