[其他]电容式测位传感器

权利要求书

1、一种电容式测位传感器，其特征在于具有第一定标器和第二定标器，把这2个定标器相互靠近并能相对移动地配置起来；

在所述第一定标器上设置第一发送电极和第一接收电极；把交流信号送到第一发送电极上；在对第一发送电极绝缘的状态下配置测量电路，把测量电路连接到第一接收电极上；

在所述第二定标器上设置第二接收电极和第二发送电极；第二接收电极由电极群构成，沿着相对移动的方向把电极群配置在能够与第一发送电极相向的位置上，第二接收电极与第一发送电极为电容耦合；第二发送电极由电极群构成，沿着相对移动的方向把电极群配置在能够与第一接收电极相向的位置上，第二发送电极与第一接收电极为电容耦合；

通过耦合电极，把各个第二接收电极和第二发送电极相互电气连接起来；

在各个连接起来的第二接收电极与第二发送电极之间，沿着相对移动的方向加入不同的偏移；

对于各相对移动位置，根据所述特定的偏移，能够进行绝对测量。

2、根据权利要求1的电容式测位传感器，其特征在于配置第二接收电极和第二发送电极时，设定：在第二定标器中点，第二定标器的偏移量为零;随着靠近该定标器的两端，偏移在正、负相反的方向上增大。

3、根据权利要求1或2的电容式测位传感器，其特征在于，第一发送电极中依次相邻的若干个电极形成1个电极群，把相位不同的交流信号送到各电极群（每个第一发送电极）中的各个电极上;把1个电极群的节距看作发送波长节距，在定标器能够进行测长的范围内，所述偏移不能超过发送波长节距。

4、根据权利要求3的电容式测位传感器，其特征在于，为了输出2个相位不同的信号第一接收电极由2种电极群构成;设：第一接收电极群的节距为接收波长节距Wr1、上述第一发送波长节距为Wt1、第二接收电极节距为Pr2和第二发送电极节距为Pt2，并设定：Wr1＝Wt1×Pt2/Pr2。

5、根据权利要求4的电容式测位传感器，其特征在于第一接收电极由2个形状极性相反的电极构成。

6、根据权利要求5的电容式测位传感器，其特征在于上述第一接收电极由2个极性相反的正弦波形电极构成。

7、根据权利要求5的电容式测位传感器，其特征在于上述第一接收电极由2个极性相反的三角波形电极构成。

8、一种电容式测位传感器，其特征在于具有第一定标器和第二定标器，把这2个定标器相互靠近并能相对移动地配置起来;

在所述第一定标器上设置第一发送电极和第一接收电极，把交流信号送到第一发送电极上;在对第一发送电极绝缘的状态下配置测量电路，把测量电路连接到第一接收电极上;

在所述第二定标器上设置第二接收电极和第二发送电极，第二接收电极由电极群构成，沿着相对移动的方向把电极群配置在能够与第一发送电极相向的位置上，第二接收电极与第一发送电极为电容耦合;第二发送电极由电极群构成，沿着相对移动的方向把电极群配置在能够与第一接收电极相向的位置上，第二发送电极与第一接收电极为电容耦合;

通过耦合电极，把各个第二接收电极和第二发送电极相互电气连接起来;

在各个连接起来的第二接收电极与第二发送电极之间，沿着相对移动的方向加入不同的偏移;

对于各相对移动位置，根据所述特定的偏移，在遍及整个测量范围内，可以进行粗测绝对测量。

还有，所述第二接收电极由具有等间隔节距的多个电极构成，该节距是用给定的整数除第一发送电极群的发送波长节距;

能够以定标器精度在所述粗测间进行细测，该定标器精度是用第一发送电极群内的发送电极数除第二接收电极节距形成的。

9、根据权利要求8的电容式测位传感器，其特征在于配置第二接收电极和第二发送电极时，设定：在第二定标器中点，第二定标器的偏移量为零;随着靠近该定标器两端，偏移在正、负相反的方向上增大。

10、根据权利要求8或9的电容式测位传感器，其特征在于，第一发送电极中依次相邻的若干个电极形成1个电极群，把相位不同的交流信号送到各电极群（每个第一发送电极）中的各个电极上;把1个电极群的节距看作发送波长节距，在定标器能够进行测长的范围内，所述偏移不能超过发送波长节距。