[其他]光接收元件

权利要求书

1、光接收元件，它具有至少一层光电导层，该层系由含有作为主要组份原子的硅原子和氢原子的一种非晶材料在一个主要由铝材料构成的基底上形成的，其特征在于，有一层缓冲层和一层高阻中间层设置在所述的基底和所述的光电导层之间，从所述基底一侧起顺序排列。

2、如权利要求1所定义的光接收元件，其中所述的高阻中间层由含有下述原子的非单晶材料构成：即作为主要组份原子的硅原子，从氧原子、碳原子和氮原子中选出的至少一种原子，以及必要时从氢原子和卤素原子中选出的至少一种原子;并且所述的缓冲层由含有铝原子及所述高阻中间层的组份原子中的至少一种原子的材料构成。

3、光接收元件，它具有至少一层光电导层，该层系由含有作为主要组份原子的硅原子和氢原子的一种非晶材料在一个主要由铝材料构成的基底上形成的，其特征在于，有一层缓冲层和一层电荷注入阻挡层设置在所述的基底和所述的光电导层之间，从所述基底一侧起顺序排列。

4、如权利要求3所定义的光接收元件，其中所述的电荷注入阻挡层由含有下述原子的非晶材料构成：即硅原子、周期表中第Ⅲ族元素或第Ⅴ族元素，以及必要时选自氢原子和卤素原子中的至少一种原子;并且所述的缓冲层由含有铝原子及所述电荷注入阻挡层的组份原子中的至少一种原子的材料构成。

5、如权利要求3或4所定义的光接收元件，其中有一中间层设置在所述的电荷注入阻挡层和所述的光接收层之间，该中间层由含有选自氧原子、碳原子和氮原子中的至少一种原子的非单晶材料构成。

6、光接收元件，它具有至少一层光电导层，该层是由含有作为主要组份原子的硅原子和氢原子的一种非晶材料在一个主要由铝材料构成的基底上形成的，其特征在于，有一层缓冲层和一层红外吸收层设置在所述的基底和所述的光电导层之间，从所述基底一侧起顺序排列。

7、如权利要求6所定义的光接收元件，其中所述的红外吸收层由含有下述原子的非单晶材料形成：即选自硅原子、锗原子和锡原子中的至少一种原子，以及必要时氢原子和/或卤素原子;并且所述的缓冲层由含有铝原子及所述红外吸收层的组份原子中的至少一种原子的材料构成。

8、如权利要求6或7所定义的光接收元件，其中有一层电荷注入阻挡层设置在所述的红外吸收层和所述的光电导层之间。

9、如权利要求6、7或8所定义的光接收元件，其中有一层中间层设置在所述红外吸收层和所述光电导层之间，或者设置在所述的电荷注入阻挡层和所述的光电导层之间，该中间层由含有选自氧原子、碳原子和氮原子中的至少一种原子的非单晶材料构成。