[发明专利]一种变间距刻划的方法及装置

权利要求书

1、一种变间距刻划的方法，采用置于机械工作台(8)上的平面变间距样板(11)、相干光源(12)和分束器件(14)组成干涉仪，其特征在于此干涉仪产生的明暗相间的干涉条纹被光电转换器(16)接收，当机械工作台(8)运动时干涉条纹明暗就发生变化，通过电子学记数系统记录条纹明暗变化的信号数做为控制机械工作台(8)运动的分度基准信号，当记数系统依次记录相等的干涉条纹数并通过电子学及机械系统控制刻刀(17)以等间距刻划方法刻线时则机械工作台(8)及置于机械工作台(8)上的待刻毛坯件(10)将依次同步的移动了不同的距离，从而获得了不等间距的刻线，实现了变间距刻划。

2、一种变间距刻划的装置是由光源、分束器件、工作台、样板、刀架、刻刀以及光电转换器等组成的，其特征在于，置于机械工作台（8）上的样板为平面变间距样板（11），是由两块间距变化规律相同、刻线平行、并列在一起的一对平面全息变间距光栅组成，分束器件（14）的分束面与平面变间距样板（11）的刻线面垂直，平面变间距样板（11）的刻划面与机械工作台（8）的运动方向平行，刻线方向与机械工作台（8）的运动方向垂直，刀架（9）及安装在刀架（9）上的刻刀（17）在机械工作台（8）的上方，刻刀（17）运动方向垂直于变间距样板（11）刻线面，光电转换器（16）放置于机械工作台（8）上。

3、根据权利要求2所述的变间距刻划装置，其特征在于平面变间距样板（11）可由一块毛坯但有两个间距变化规律相同，刻线平行的刻线区域的样板组成。