[其他]化学镀铜及其镀浴

权利要求书

1、一种化学镀铜镀浴，主要包括具有下列组成的一种水溶液：

(1)大约0.6～6.4克/立升的水溶性铜盐，

(2)大约6～50克/立升的乙二胺四乙酸，

(3)大约2.5～12.5克/立升的二甲胺甲硼烷，

(4)大约2.5～50克/立升的亚硫基二乙酸，

(5)大约2.5～1000克/立升的环氧乙烷和炔属乙二醇的表面活性剂反应产物，和

(6)用足量的NH₄OH将PH值调节到大约8.0～11.5之间。

2、根据权利要求1的镀浴，其中炔属乙二醇是2，4，7，9-四甲基-5-癸炔-4，7-二醇。

3、根据权利要求1的镀浴，其中铜盐是硫酸铜。

4、根据权利要求2的镀浴，其中铜盐是硫酸铜。

5、根据权利要求1的镀浴，该镀浴的PH值在9.5～10.5之间，含有大约3.2克/立升的硫酸铜、大约12克/立升的乙二胺四乙酸、大约5.5克/立升的二甲胺甲硼烷、大约10毫克/立升的亚硫基二乙酸，和大约11毫克/立升作为表面活性剂加合物的环氧乙烷和2，4，7，9-四甲基-5-癸炔-4，7-二醇。

6、一种在一种基底上化学沉积铜的方法，在大约25℃～80℃之间将基底与一种水镀浴接触，该镀浴含有：

（1）大约0.6～6.4克/立升的一种水溶性铜盐，

（2）大约6～50克/立升的乙二胺四乙酸，

（3）大约2.5～12.5克/立升的二甲胺甲硼烷，

（4）大约2.5～50克/立升的亚硫基二乙酸，

（5）大约2.5～1000克/立升的环氧乙烷和一种炔属乙二醇的表面活性剂反应产物，和

（6）用足量的NH₄OH将PH值调节到大约8.0～11.5之间。

7、根据权利要求6的一种方法，其中镀浴的PH值大约在9.5～10.5之间，并含有大约3.2克/立升的硫酸铜、大约12克/立升的乙二胺四乙酸、大约5.5克/立升的二甲胺甲硼烷、大约10毫克/立升的亚硫基二乙酸和大约11毫克/立升作为表面活性剂加合物的环氧乙烷和2，4，7，9-四甲基-5-癸炔-4，7-二醇。