[其他]气体流量控制器

权利要求书

1、一种气体控制器包括：

一个用于变换、打开和关闭多个通道的开关，

一个具有与所述多个通道相对应的多个孔口的多孔板，

一个用于驱动以使所述开关转动的马达驱动装置，

一个具有一个安装在所述开关的轴上的位置信号发生器和一个响应来自所述位置信号发生器的信号以判断所述开关的位置的位置确定装置，以及

一个响应目标位置信号和来自所述位置确定装置的目前位置信号以对所述马达驱动装置发送驱动信号的驱动控制装置。

2、如权利要求1所述的气体控制器，其中所述位置信号发生器由绝对型编码器构成，所述编码器采用多种组合的二进制位数编码信号指定多个开关停止位置和中间位置。

3、如权利要求1所述的气体控制器，其中所述位置信号发生器由绝对型编码器构成，由所述编码器输出的用于指定多个开关停止位置和中间位置的信号是相应于转动角度的二进制位数编码（格雷码）信号。

4、如权利要求1所述的气体控制器，其中所述位置信号发生器由绝对型编码器组成，由所述编码器的输出信号指定多个开关停止位置和中间位置，且其中只有开关的完全关闭位置前后的那些中间位置进行了划分以对应不同的输出信号。

5、如权利要求4所述的气体控制器，其中在所述位置信号发生器中，在所述开关的完全关闭位置前后的中间位置处的划分点设定在当所述开关朝着完全关闭位置转动而气体通道刚要关闭之前的位置上。

6、如权利要求1所述的气体控制器，包括一个响应所述开关的目标位置信号和来自所述位置确定装置的信号的操作控制装置，一个响应来自所述操作控制装置的信号用于对所述马达驱动装置发送信号的驱动控制装置，和一个用于当所述马达驱动装置置于反向转动时，输出一个驱动停止信号，而经过一预定时间间隔之后，又输出一个反向信号的定时装置。

7、如权利要求1所述的气体控制器，包括一个响应所述开关的目标位置信号和来自所述位置确定装置的信号的操作控制装置，一个响应来自所述操作控制装置的信号，用于调节由所述马达驱动装置所确定的速度的速度控制装置，和一个用于起动和停止所述马达驱动装置的运转的起动/停止控制装置。

8、如权利要求7所述的气体控制器，其中所述位置信号发生器贮存目标位置信号前后的估计的信号，由此当检测所述估计的信号时，所述速度控制装置使所述马达驱动装置在降低的速度下运转，而当检测到所述目标位置信号时，所述起动/停止控制装置使所述马达驱动装置的运转停止。

9、如权利要求8所述的气体控制器，其中在开始驱动所述马达驱动装置时，在一预定时间间隔内输入最大的功率，而不管此时的位置信号如何。

10、如权利要求1所述的气体控制器，包括一个输出对应于所述开关的位置的信号的位置信号发生器，一个响应所述位置信号用于判断开关的位置的位置判断装置，一个贮存位置信号出现的次序和根据目标位置信号和来自所述位置判断装置的信号来判断位置信号是否正确的操作控制装置，和一个响应来自所述操作控制装置的信号、用于控制所述马达驱动装置的驱动控制装置。

11、如权利要求10所述的气体控制器，其中所述驱动控制装置包括一个用于起动和停止所述马达驱动装置的运转的起动/停止控制装置，当检测到不正常的位置信号时，所述驱动控制装置使所述马达驱动装置停止并检查开关的位置。

12、如权利要求10所述的气体控制器，其中所述驱动控制装置包括一个用于起动和停止所述马达驱动装置的运转的起动/停止控制装置和一个用于使所述马达驱动装置的运转减低速度的速度控制装置，由此当检测到不正常的位置信号时，使所述马达驱动装置的运转速度降低以再次检查位置信号。

13、如权利要求1所述的气体控制器，包括一个响应来自所述开关位置信号发生器的目前位置信号和目标位置信号、用于选择所述开关的转动方向的方向选择装置，和一个给所述马达驱动装置发送代表着由所述方向选择装置选择的方向的驱动信号的驱动控制装置。