[其他]涂镀层厚度动态测量方法、装置及其用途无效

专利信息
申请号: 87103367 申请日: 1987-05-13
公开(公告)号: CN87103367A 公开(公告)日: 1988-11-30
发明(设计)人: 邱安生 申请(专利权)人: 本溪市无线电九厂
主分类号: G01B7/10 分类号: G01B7/10;C25D21/12
代理公司: 电子工业部专利服务中心 代理人: 崔雪花,邱应凤
地址: 辽宁本溪市*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
搜索关键词: 镀层 厚度 动态 测量方法 装置 及其 用途
【权利要求书】:

1、本发明涉及用磁敏感原理动态测量涂镀层厚度,是一种测量在电镀、化学镀过程中镀层厚度及变化速度的方法,其特征在于:应用磁性材料初始磁导率随着镀层增厚、表面应力增加而出现有规律的下降,反映到磁性传感件[6]的输出电压随之有规律的下降,同时这一涂镀过程产生的形变是一个弹性可逆过程;利用上述特性,可测量单层、多层、磁性、非磁性镀层厚度及沉积速度。

2、根据权利要求1所述的测量方法,其特征在于磁性传感件〔6〕在电镀过程的形变为弹性可逆过程,电镀过程的可逆性是在镀层形成后,经过腐蚀或电解,随着镀层减少,表面应力降低,磁性材料的初始磁导率有规律的增加,反映到磁性传感件〔6〕的输出电压有规律的增加,直至接近或完全恢复到无镀层时的原始值。

3、根据权利要求1或2所述的测量方法而设计的测量装置,其特征在于有磁性传感件〔6〕,交流激磁电源〔9〕,测量放大器〔10〕,控制电路〔11〕等组成。

4、根据权利要求3所述的测量装置,其特征在于:磁性传感件〔6〕是具有一个或一个以上闭合磁回路的磁性件。

5、根据权利要求3或4所述测量装置的磁性传感件〔6〕,其特征在于:是可以重复使用的磁性件。

6、根据权利要求3所述的测量装置,其特征在于包含有初级激磁绕组及次级感应绕组,并通过磁性传感件〔6〕的磁回路相偶合,初级激磁绕组同交流激磁电源〔9〕连接,次级感应绕组同测量放大器〔10〕连接。

7、根据权利要求3所述的测量装置具有的用途其特征在于可以用于电解铜箔生产过程的厚度测量及控制。

8、根据权利要求3所述的测量装置具有的用途其特征在于可以用于涂镀层防腐蚀能力的检测。

9、根据权利要求3所述的测量装置具有的用途,其特征在于可以用于密封管道内腐蚀性流体浓度及对管内涂鍍层腐蚀速度的检测。

10、根据权利要求3所述的测量装置具有的用途,其特征在于可同时测量出涂镀层增加或消失时的应力及其变化速度。

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