[其他]旋转干燥设备

权利要求书

1、用于干燥片状元件的旋转干燥设备，所述设备包括一轴被安排成用以作旋转运动，并在其一端部上有一驱动马达，及在其另一端部上有一旋转的顶部组件，其特征在于：

-所述顶部组件包括一顶部元件同轴地安排在所述轴的另一端部上并具有一多个从该轴上向外延伸的旋臂；

-一多个可动臂与各个所述旋臂枢轴连接并具有圆片一接合部分；

-用以偏移所述可动臂的圆片一接合部分至圆片一接合位置的偏移装置；

-用以移动可动臂以反抗所述偏移装置从所述圆片一接合位置移动可动臂的所述圆片一接合部分的装置，及

-紧密地围绕所述径向延伸臂的抑制装置包括一盖罩元件用以大体上消除由于所述径向延伸臂的旋转而在所述片状元件的周围产生的气流。

2、按权利要求1所述的发明，其特征在于，其中所述可动臂大体上为T形。

3、按权利要求2所述的发明，其特征在于，其中各个所述T形可动臂具有一通常是轴向延伸的第一支架部分及一通常是径向延伸的第二支柱部分，和其中所述轴向延伸支架部分穿过所述抑制盖罩装置延伸出去。

4、按权利要求3所述的发明，其特征在于，其中所述可动臂是在所述轴向延伸支柱部分与径向延伸支架部分的接合点上与所述旋臂枢轴地连接。

5、按权利要求3所述的发明，其特征在于，其中所述可动臂的所述轴向延伸支柱部分包括所述圆片一接合部分。

6、按权利要求3所述的发明，其特征在于，其中所述T形臂包括放置在从所述轴向延伸支柱部分的枢轴连接处的相对边上的平衡块，所述平衡块在所述顶部组件旋转时提供一大体上与在旋转时所述轴向延伸的支架部分上的离心力相等或稍大的离心力，从而使所述平衡块的离心力趋向于使轴向延伸支架部分夹持所述片状元件。

7、用于干燥片状元件的旋转干燥设备，所述设备包括一轴安排成用以作旋转运动并于其一端部具有一驱动马达，及于其另一端部上有一旋转的顶部组件，其特征在于，

-所述顶部组件包括一顶部元件同轴地安排在所述轴的另一端部上并具有一多个从该轴向外延伸的旋臂;

-多个T形臂，一对一地与所述旋臂枢轴连接，所述T形臂各具有一轴向延伸的圆片一接合支架部分，及一延伸到所述顶部元件的径向延伸支架部分;

-包括放置在所述轴中的传动杆及在所述顶部元件中用以接合所述T形臂的内端部的装置的致动装置;

-用以偏移所述致动装置朝向所述电动机以移动所述T形臂的圆片一接合支架部分到一圆片一接合位置的偏移装置;

-用以移动所述致动装置以反抗所述偏移装置从所述圆片一接合位置移动所述圆片-接合支架部分的装置;

-围绕所述旋转顶部组件及具有一开口的上端部的第一抑制装置，所述第一抑制装置在邻近所述T形臂的圆片一接合支架部分处具有一向下的及向外的倾斜的中间部分;

-紧贴地并固定地放置在环绕所述旋转臂周围并从所述第一抑制装置的下部部分向内加以间隔的第二抑制装置，所述第二抑制装置终止于一上端部恰好在所述臂的所述枢轴连接的上方;

-一用以所述第二抑制装置连接到所述顶部组件并从所述顶部组件向外延伸并超过所述T形臂的轴向延伸圆片一接合支架部分及在极接近所述第二抑制装置的上端部终止的盖罩装置，从而使所述第二装置和所述盖罩装置大体上消除由于所述顶部组件的旋转而在所述片状元件的周围空气流的产生，及

-一用以升举所述旋转的顶部组件至一其中所述圆片一接合支架部分被放置在所述第一抑制装置的开口的上端部的上方的位置的装置。

8、按权利要求7所述的发明，其特征在于，其中所述T形臂包括放置在从所述轴向延伸支架部分的枢轴连接的相对边的平衡块，所述平衡块在所述顶部组件的旋转提供一大体上与所述轴向延伸支架部分上在旋转时的离心力相等或稍大的离心力，从而使所述平衡块的力离心力趋向于使轴向延伸的支架部分夹持所述片状元件。

9、用于干燥半导体圆片的旋转干燥设备，所述设备包括一垂直的空心轴安排成用以作旋转运动并于其下端部具有一驱动马达，及于其上端部有一旋转的顶部组件，其特征在于，

-所述顶部组件包括一空心顶部元件同轴地安排在所述空心轴的上端部并具有一多个从该空心轴向外延伸的间隔着的旋臂对;

-一多个T形臂，以一个T形臂放置于一旋臂对的两臂之间并枢轴地连接到所述旋臂的外端部，所述T形臂各具有一轴向延伸的圆片一接合支架，各所述T形臂的其它支架在所述旋臂对之间径向延伸到所述顶部元件内;

-包括同轴地放置在所述空心轴中的传动杆及在所述顶部元件中用以接合所述T形臂的内端部的致动装置;

-用以将与所述轴同轴的致动装置偏移向所述电动机的装置以将所述圆片-接合支架部分朝向所述顶部组件的中央移动到一圆片-接合位置的偏移装置;

-放置在穿过所述传动杆和穿过所述轴向外延伸并连接到一轴衬;

-放置在围绕所述轴并安排成选择性接合所述轴衬的叉形件装置;传动器装置安排成在所述轴的轴向上移动所述叉形件以接合所述轴衬并向上地移动所述致动装置以反抗位移装置的力，从而将所述圆片一接合支架部分从圆片-接合位置向外地移动;

-周边地围绕所述旋转顶部组件并具有直径较所述旋转顶部组件的直径为大的开口的上端部的第一抑制装置，所述第一抑制装置在邻近所述T形臂的所述圆片-接合支架部分具有向下的和向外的倾斜的中间部分，在所述第一抑制装置的下部部分放置排水装置;

-紧贴地并固定地放置在围绕所述旋转臂并从所述第一抑制装置的下部部分向内地加以隔开的第二抑制装置，所述第二抑制装置终止于上端部恰好在所述臂之间的所述枢轴连接之上方;

-一用于所述第二抑制装置的盖罩装置连接到所述顶部组件并从所述顶部组件的中央向外延伸超过轴向延伸的所述T形臂的圆片-接合支架部分，并在极接近第二抑制装置的上端部终止，从而使所述第二抑制装置和所述盖罩装置大体上防止了由于所述顶部的旋转在围绕所述圆片所产生的气流;

-所述T形臂被提供以放置在从所述圆片一接合支架部分的所述枢轴连接的相对边的平衡块，所述平衡块由于顶部组件的旋转提供一大体上与在旋转时所述圆片-接合支架部分上的离心力相等或稍大的离心力，从而所述平衡块的离心力趋向于使所述圆片-接合支架部分夹持所述片状部件;

-用以升举所述旋转顶部组件至一其中所述圆片-接合支架部分被放置在所述第一抑制装置的开口上端部的位置的装置，及

-一第一对喷咀装置用以在旋转操作过程的第一部分将液体射向所述圆片的两表面上，及

-一第二对喷咀装置用以在旋转操作过程的第二部分将惰性气体射向所述圆片的两表面上。