[其他]机加光电工艺

权利要求书

1、机加光电工艺属电真空技术。用来研制一系列电子束管所需的方孔靶网。光刻工艺制此类网是用照像法制底版，用晒象腐蚀法制网。玻璃模版溅钯电镀工艺制此类网是刻制方孔玻璃模版(模基)，在玻璃模版上溅钯电镀网。本发明的特征是用精密机械加工一个用两支一级精度的螺杆平行装成正方形框架；用手工将丝料绕进道道螺纹制成直线丝架；在细微粒干片上拷贝制成方孔底版；再拷贝电镀制网。

2、在权利要求1所述的工艺中，用精密机床加工两支一级精度有一定道数螺纹和长度的不锈钢螺杆，平行装成正方形框架。

3、在权利要求2所述工艺中，螺纹的道数根据网的线数来定;螺杆的长度根据网的面积来定;螺纹的深度使绕进的丝料有三分之一在螺纹外。

4、在权利要求1所述工艺中，选择眼力好、细心、耐心、有事业心的人，在一定强而柔和的灯光下，固定稳丝料，用手工试验训练将丝绕进道道螺纹，制成直线丝架。如说明书附图。

5、在权利要求4所述工艺中，也可在放大镜或显微镜下用手工绕丝。

6、在权利要求1所述工艺中，根据网线条的粗细和线数，用直线丝架在细微粒罗甸干片或超细微粒干片上拷贝，制成直线底版。制100～250线/CM的底片用细微粒罗干片。制250～500/CM的底片用超细微粒干片。

7、在权利要求1所述工艺中，用直线阴图底版在干片上两次正交曝光拷贝制成方孔底版。

8、在权利要求1所述工艺中，用螺纹的道数和在两次曝光时用平行移位模调正线间的距离，使线数倍增来控制和提高底版的线数。

9、在权利要求1所述工艺中，细微粒罗甸干片的制取，基本工艺与湿片同，只有下述几点不同：

（1）红碘配方：碘化鎘18.67克;碘化铵8.54克;溴化铵3.2克;蒸馏水33毫升;酒精1000毫升。

（2）碘化棉胶的配方：在100毫升1.5%的白罗甸中加6～8毫升红碘。

（3）制成湿片后需在丹柠酸100克，柠檬配5克，蒸馏水1000毫升的增感液中浸3分钟，在空气中凉干。

10、在权利要求1所述工艺中，拷贝电镀制网：

（1）拷贝：与一般拷贝同，只以下溶液不同：①显影和加厚溶：3份由柠檬酸0.5克，对苯二酚10克和蒸馏水100毫升配成的溶液加1份1%的硝酸银液;②减薄溶：3份25%硫代硫酸钠液，加1份25%铁氰化钾液，再加4份蒸馏水。

（2）电镀：

拷贝出线条合格，导电性能好的网版，装好导电性能好的挂具，进行电镀。可用一般电镀，脉冲电镀和反向电镀。

11、在权利要求10所述工艺中，根据网要求的金属，用同种金属的电镀液电镀。即铜质网用铜的电镀液，镍质网用镍的电镀液，……。