[其他]干式真空泵

说明书

本发明涉及一种真空泵，特别是一种能使被抽真空系统清洁、无油污染的干式真空泵。

目前在核真空技术、稀有金属冶炼、半导体器件制造、等离子技术、食品和医药真空包装等方面，应用最为普遍的是油封机械泵，它包括旋片式、滑阀式、定片式或真空泵。这些真空泵依靠真空泵油润滑、密封和保证在低压强时微量气体的排出。在应用过程中，在旋片式泵等的高级腔中的真空泵油会有少量被抛向被抽系统，另外高级腔中的真空泵油也会慢慢地向被抽系统和管道“爬行”。这些被抛入和“爬行”入被抽系统的真空泵油，在低压强下不断挥发，虽然被泵本身抽走一部分，但还是有不少油气返流而污染被抽系统。这种油气污染是十分有害的，尤其对食品、医药包装会直接影响到人身健康。兰州物理研究所有关专家对旋片式真空泵的返油量所作的测试结果表明，油气对被抽系统的污染十分严重。早在五十年代人们就曾设想用一种无油真空泵代替如旋片式等有油真空泵，但无油泵的一个十分突出的问题是压缩比不高。后来又有人提出用旋片式无油泵与有油的旋片式泵等联合成机组形式，上海原子核研究所曾作过试验，极限真空可达10^-3托，降低返油率达95%～97%。但由于这种机组形式的价格十分昂贵。因此，在工业上至今未能广泛采用。

本发明的目的是提供一种能够使被抽真空系统清洁、无返油污染，整体式结构的且价格低廉的，适合于工业生产和广泛应用的干式真空泵。

本发明所述的干式真空泵，为达到上述目的，真空泵的吸气系统采用无油干级、吸附级和油封级三级串联的整体式吸气结构。如图1所示，无油干级（5），此级全无油，从进口（15）吸入的气体经无油干级（5）输送到吸附级（22），起净化和予压缩作用。吸附级（22）由装有几层氧化铝分子筛的滤网组成，有吸收气体中的水蒸气和防止油封级（12）含油气体返流的作用。油封级（12）把经无油干级（5）、吸附级（22）输来的气体依靠变容原理及真空泵油的作用把气体压缩排出。如图2所示，上述的三级串联整体式吸气结构中，无油干级和油封级同轴。电动机带动皮带轮使无油干级的转子（4）和油封级的转子（10）同时转动，两转子都与泵腔相切，且转子都与泵腔偏心安装。如图4和图5所示，在泵轴转动时，泵腔的空腔Ⅰ和Ⅰ′不断增大，吸气;空腔Ⅱ和Ⅱ′达最大后逐渐变小，压缩气体;空腔Ⅲ和Ⅲ′不断变小压缩气体，使气体被压缩排出。

下面结合实施例及附图对本发明所述的真空泵做进一步地描述。

图1为干式真空泵实施例的工作原理图。

图2为干式真空泵实施例的主视图;

图3为干式真空泵实施例的左视图;

图4为干式真空泵的无油干级转子和泵腔工作示意图;

图5为干式真空泵的油封级转子和泵腔的工作示意图;

图6为干式真空泵的转子和泵腔110°的切点结构示意图;

图中，1是大气通道，2是贴片，3是无油干级旋片，4是无油干级转子，5是无油干级，6是无油干级泵腔，7是油封，8是泵轴，9是中壁，10是油封级转子，11是油封级旋片，12是油封级，13是油封，14是皮带轮，15是进气口，16是油封级泵腔，17是排气口，18是密封圈，19是排气阀，20是防喷油结构，21是氧化铝分子筛，22是吸附级，23是泵油。