[其他]盘形涡轮分子泵无效
| 申请号： | 87103982 | 申请日： | 1987-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN87103982A | 公开（公告）日： | 1988-12-21 |
| 发明（设计）人： | 朱岳;王孝珍;竺长新 | 申请（专利权）人： | 中国科学院北京真空物理实验室 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04 |
| 代理公司： | 中国科学院专利事务所 | 代理人： | 关玲,方国成 |
| 地址： | 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 涡轮 分子 | ||
1、一种泵芯结构具有高真空端是涡轮部分，低真空端是盘形部分按串联方式构成的盘形涡轮复合分子泵，其特征在于泵芯的涡轮部分和盘形部分之间串接有盘形涡轮结构作为过渡部分结构。
2、权利要求1所述的复合分子泵，其特征在于过渡部分是盘形涡轮分子泵泵芯结构，即每一级由装在转子上的一片带有涡轮叶齿的动圆盘和一片在盘面上开有若干个沿圆周均匀分布呈放射状的圆弧线形或对数线形或直线形抽气沟槽的定圆盘组成。
3、权利要求1所述的复合分子泵，其特征在于盘形部分的每一级是由一片装在电机转子上的旋转平板圆盘面上开有若干个沿圆周均匀分布呈放射状的圆弧线形或对数线形或直线形抽气沟槽的定圆盘组成。
4、权利要求2所述的复合分子泵，其特征在于盘形涡轮过渡部分可以是单级或多级构成。
5、权利要求3所述的复合分子泵，其特征在于盘形部分可以是单级或多级构成。
6、权利要求1或2所述的复合分子泵，其特征在于定圆盘盘面上所开的抽气沟槽的线形可以是沿圆周均匀分布呈放射状的圆弧线形或对数线形或直线形抽气沟槽。
7、权利要求1、2或3所述的复合分子泵，其特征在于定圆盘盘面上所开的抽气沟槽的线形可以是沿圆周均匀分布呈放射状的圆弧线形或对数线形或直线形抽气沟槽。
8、权利要求2或3所述的复合分子泵，其特征在于多级串联时定圆盘的两侧盘面上都开有若干个沿圆周均匀分布呈放射状的圆弧线形或对数线形或直线形抽气沟槽。
9、权利要求8所述的复合分子泵，其特征在于定圆盘两侧盘面上所开的抽气沟槽的线形走相反。
10、权利要求8所述的复合分子泵，其特征在于同一定圆盘的两个侧面上或不同定圆盘的两个盘面上所开的抽气沟槽的数目可以不同。
11、权利要求8、9或10所述的复合分子泵，其特征在于定圆盘两侧盘面上开的抽气沟槽的长度可以不同。
12、权利要求8或10所述的复合分子泵，其特征在于同一定圆盘的两个侧面上或不同定圆盘的盘面上所开的抽气沟槽的槽深可以不同。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院北京真空物理实验室，未经中国科学院北京真空物理实验室许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/87103982/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种汽车顺序显示转向灯装置
- 下一篇：改善血纤维蛋白溶解作用的组合物
