[发明专利]显微物镜波面象差测定装置无效
| 申请号： | 87104771.3 | 申请日： | 1987-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN1016642B | 公开（公告）日： | 1992-05-13 |
| 发明（设计）人： | 向才新 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 中国科学院长春专利事务所 | 代理人： | 刘树清 |
| 地址： | 吉林省长*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 显微 物镜 象差 测定 装置 | ||
【权利要求书】：
1、显微物镜波面象差测定装置，是由激光光源、扩展镜、干涉棱镜、被测物镜组成的，其特征在于沿激光光源(6)出射光的光路上，依次设置有多种波段滤光片(8)、扩展镜(9)、针孔(11)、由一立方体分束棱镜(5)，一平凹透镜(7)和一平凸透镜(4)胶合而成的干涉物镜、装在联动夹持器(14)中的被测物镜(3)与标准球面镜(2)、联动夹持器(14)之后置有监视镜(1)和参考目标(17)，干涉棱镜[(4)、(5)、(7)]的侧面置有观察放大镜(12)，干涉棱镜[(4)(5)(7)]中的平凹透镜(7)和平凸透镜(4)的两球面曲率中心与扩展镜(9)的焦点相重合于针孔(11)处，装在联动夹持器(14)中的被测物镜(3)与标准球面镜(2)在垂直于光轴方向上可同时移动，也可在水平面内作两维的单独移动。
2、按权利要求1所述的显微物镜波面象差测定装置，其特征在于激光光源（6）采用多色激光光源。
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