[其他]自振荡光谐振传感器

权利要求书

1、一种由光能源驱动机械谐振器的装置，其特征在于，该装置包括：

a)将所述光能连通到机械谐振器用的装置；和

b)将光能转换成谐振器的振动用的光干涉测量装置。

2、如权利要求1的装置，其特征在于，所述转换的源对调制光增益G1与调制光对机械运动增益G2的乘积乘以入射光能I_o至少等于1。

3、如权利要求1的装置，其特征在于，维持所述谐振器振荡有一个功率阈值，要达到或超出此阈值。

4、如权利要求3的装置，其特征在于，最好超出维持谐振器振荡的阈值一个大于2的因数。

5、如权利要求1的装置，其特征在于，谐振器系安置在真空中。

6、如权利要求1的装置，其特征在于，振动着的谐振器对光起调制作用。

7、一种以光为能源的机械谐振装置，用以在测量现场检测物理参数或被测量，其特征在于，该装置包括：

a）光能源装置;

b）光通路装置，用以将所述光能传输到所述测量现场;

c）能振动的谐振器装置，具有振动的谐振频率且系耦合到被测量;

d）将谐振器的谐振频率变化与变化着的被测量联系起来用的装置;

e）将所述光能的至少一部分转换成所述谐振器的机械运动用的装置;

f）光干涉测量装置，用以藉所述谐振装置的运动调制至少一部分所述光能;

g）检测装置，用以将一部分所述调制光能转换成与被测量有关的诸信号;和

h）将所述调制光能的所述信号部分送回到所述检测装置用的装置。

8、如权利要求7的装置，其特征在于，所述谐振装置包括一个谐振带状物。

9、如权利要求7的装置，其特征在于，所述谐振器包括至少一个机械梁元件。

10、如权利要求7的装置，其特征在于，元件a）和g）系安置在第一位置，元件c）、d）、e）和f）系安置在分开的第二位置。

11、如权利要求10的装置，其特征在于，所述光源的光能与第二位置连通，所述调制过的光能沿光纤通路装置与第一位置连通。

12、如权利要求11的装置，其特征在于，所述光通路装置是单个光纤通路。

13、如权利要求7的装置，其特征在于，所述光干涉测量装置包括一个法布里-珀罗空腔。

14、如权利要求7的装置，其特征在于，所述法布里-珀罗空腔与可振动的谐振器是一个整体。

15、如权利要求13的装置，其特征在于，该装置还包括薄膜涂层，用以改善法布里-珀罗光腔的技巧。

16、如权利要求13的装置，其特征在于，法布里-珀罗光腔中的部分吸收性薄膜涂层用以直接将光能（通过光热效应）转换成谐振器的运动。

17、如权利要求13的装置，其特征在于，所述法布里-珀罗空腔呈楔形。

18、如权利要求13的装置，其特征在于，所述法布里-珀罗空腔空间毗邻零或低级干涉，因而可以采用非单色光和多模光纤。

19、如权利要求7的装置，其特征在于，所述光干涉测量装置包括一个米切尔森干涉仪。

20、如权利要求19的装置，其特征在于，所述光干涉测量装置是一个会聚光束米切尔森干涉仪。

21、如权利要求7的装置，其特征在于，所述将所述调制光能转换成机械能的装置包括将光能转换成热能的装置。

22、如权利要求7的装置，其特征在于，所述将所述调制光能转换成机械能的装置包括将光能转换成电能的装置。