[发明专利]施利尔雷恩暗场型光阀投影器的偏转系统

权利要求书

1、一种改进的施利尔雷恩暗场型光阀投影器的偏转系统，用于使在电子束整型孔阑形成的电子束物成象并使所述电子束扫过扫描光栅区，同时在整个扫描区保持电子束放大和聚焦，所述系统包括：

具有第一组四个控制电极和第二组四个控制电极的偏转电极组件，每个四电极组有一对竖直偏转极板和一对水平偏转极板；

与所述偏转电极组件轴向对准的多元漂移环组件；

与所述电极组件轴向分离的电子束靶电极；

其特征在于所述系统还包括：

筒状电极，它沿所述偏转电极组件的轴向，位于所述第一和第二组电极之间；在第一组坚直偏转极板上加增量直流电压，而在第一组水平偏转极板上加大小相等、极性与竖直极板上相反的增量直流电压；在第二组竖直偏转极板上加与第一组竖直偏转极板极性相反的增量直流电压，而在第二组水平偏转极板上加大小相等，极性与第二组竖直偏转极板上相反的增量直流电压。

2、权利要求1所述的改进的施利尔雷恩暗场型光阀投影器的偏转系统，其中所述电子束整形孔有一个矩型截面。

3、权利要求1所述的改进的施利尔雷恩暗场型光阀投影器的偏转系统，第一组电极的长度是第一组电极间间距的1.2至1.8倍，第二组电极的长度是第二组电极间间距的1.0至1.6倍，由电子束整形孔阑到第一组电极入口的间距是0.5至2.5英寸，由第一组电极出口到第二组电极入口的间距是第一组电极间距的3至6倍，筒状电极的直径是第一组电极间间距的6至10倍，第一和第二漂移环的直径是第二组电极间间距的1.1至1.25倍。

4、权利要求1所述的改进的施利尔雷恩暗场型光阀投影器的偏转系统，其中多元漂移环组件包括：第一和第二漂移环以及电子枪;电子枪的轴与上述偏转电极组件的轴平行，用来产生射向上述电子束靶电极的电子束;上述电子枪的锥电极上的直流电压约为5000伏;上述第一组电极的标称工作电压为直流+7200伏，其中水平偏转极板的增量电压为+60伏，竖直偏转极板的增量电压为-60伏;上述第二组电极的标称工作电压为直流+30伏，其中水平偏转极板的电压为0伏，竖直偏转极板的电压为+60伏;上述筒状电极的工作电压在直流7000至9000伏之间;第一漂移环的工作电压在直流+4000至5000伏之间;第二漂移环的工作电压在直流+5000至7000伏之间;电子束靶电极的工作电压在直流+4000至6000伏之间。

5、权利要求4所述的改进的施利尔雷恩暗场型光阀投影器的偏转系统，其中第一组电极的长度是0.6英寸，电极间间距是0.4英寸;第二组电极的长度是2.6英寸，电极间间距是2.4英寸;由电子束整型孔阑至第一组电极入口的间距是1.5英寸，由第一组电极出口至第二组电极入口的间距是1.9英寸;筒状电极的直径是3.5英寸，第一和第二漂移环的直径是2.9英寸，第二组电极与第一漂移环的间距、第一和第二漂移环间的间距、第二漂移环与电子束靶电极的正常间距都是100密耳。