[其他]施利尔雷恩暗场型光阀投影器的偏转系统

权利要求书

1、一种改进的静电电光系统，用于使在电子束整型孔阑形成的电子束物成像并在扫描光栅区内使所述电子束扫过光栅区，同时在整个扫描区上使电子束保持放大和聚焦，所述系统由下述各部分组成：

偏转电极组件，包括第一组四个控制电极，筒状电极和第二组四个控制电极，上述筒状电极沿上述偏转电极组件的轴向，位于上述第一与第二组四电极之间，每个四电极组中有一对竖直偏转极板和一对水平偏转极板；

用于向第一组竖直偏转极板上加增量直流电压，和向第一组水平偏转极板上加大小相等、极性与竖直极板上相反的增量直流电压的装置；

用于向第二组竖直偏转极板上加与第一组极性相反的增量直流电压，和向第二组水平偏转极板上加大小相等，极性与竖直极板上相反的直流电压的装置；

多元漂移环组件，它的轴与偏转电极组件的轴同行。

电子束靶电极，其轴与电极组件的轴分离。

2、权利要求1中所述的改进型静电电光系统，其中所述电子束整形孔阑有一个矩型截面。

3、在权利要求1中所说的改进型静电电光系统中，第一组电极的长度是第一组电极间间距的1.2至1.8倍，第二组电极的长度是第二组电极间间距的1.0至1.6倍，由电子束整形孔阑到第一组电极入口的间距是0.5至2.5英吋，由第一组电极出口到第二组电极入口的间距是第一组电极间间距的3至6倍，筒状电极的直径是第一组电极间间距的6至10倍，第一和第二漂移环的直径是第二组电极间间距的1.1至1.25倍。

4、权利要求1中所说的改进型静电电光系统，其中多元漂移环组件包括：第一和第二漂移环以及电子枪;电子枪的轴与上述偏转电极组件的轴平行，用来产生射向上述电子束靶电极的电子束;上述电子枪的锥电极上的直流电压约为5000伏;上述第一组电极的标称工作电压为直流+7000伏，其中水平偏转极板的增量电压为+60伏，竖直偏转极板的增量电压为-60伏;上述第二组电极的标称工作电压为直流+30伏，其中水平偏转极板的电压为0伏，竖直偏转极板的电压为+60伏;上述筒状电极的工作电压在直流7000至9000伏之间;第一漂移环的工作电压在直流+4000至5000伏之间;第二漂移环的工作电压在直流+5000至7000伏之间;电子束靶电极的工作电压在直流+4000至6000伏之间。

5、在权利要求4中所说的改进型静电电光系统中，第一组电极的长度是0.6英吋，第一组电极间间距是0.4英吋;第二组电极的长度是2.6英吋，第二组电极间间距是2.4英吋;由电子束整型孔阑至第一组电极入口的间距是1.5英吋，由第一组电极出口至第二组电极入口的间距是1.9英吋;筒状电极的直径是3.5英吋，第一和第二漂移环的直径是2.9英吋;第二组电极与第一漂移环的间距、第一和第二漂移环间的间距、第二漂移环与电子束靶电极的正常间距都是100密耳。