[其他]含光刻胶的废液的处理

权利要求书

1、一种处理印刷电路版制造工业和其他使用光刻材料制造工业的光刻胶废液的方法，此方法包括：

分别将每一处理溶液放出的光刻胶废液进行超滤；

将通过超滤膜的每一渗透液各自送回处理溶液，以便将超滤后的清洁溶液循环至用于处理过程的各溶液。

2、根据权利要求1所述的方法，该方法当含光刻胶的废液是含碱化剂或成分的水溶液时，包括进一步补充碱化成分到循环于处理溶液的渗透液，碱化成分与处理过程解离或消耗的碱化成分相同，直至其pH变为用光刻胶处理基片前的处理溶液原有的pH值。

3、一种处理由印刷电路板制造业和其他使用光刻胶的制造业排出的含光刻胶废液的方法，此方法包括将所说制造业中包括显影工序和剥离工序的每一处理工序排放出的含光刻胶的废液进行超滤，以便浓缩废液中的光刻胶;将所得到的光刻胶浓缩废液进行电磁辐射，以便聚合或固化溶于溶液中的光刻胶，产生含有聚合物和水的固化物质。

4、根据权利要求3所述的处理含光刻胶的废液的方法，此方法还包括将固化物质燃烧，产生燃烧热，以蒸发废液中的水，从而加速溶液中所溶解的废光刻胶的聚合。

5、一种处理从印刷电路板制造工业和其他使用光刻树脂制造工业排放出的含光刻胶废液的方法，此方法包括将废液通过超滤膜使废液中的光刻胶浓缩以产生用于再循环的清洁渗透液和浓缩废液;

将热能施于所产生的浓缩液以便加速废液中光刻胶的聚合;并产生含聚合物和水的固化物质。