[其他]直拉硅单晶的气相掺氮方法无效
| 申请号： | 87105811 | 申请日： | 1987-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN87105811A | 公开（公告）日： | 1988-02-24 |
| 发明（设计）人： | 阙端麟;李立本;陈修治 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | C30B27/02 | 分类号： | C30B27/02;C30B31/06 |
| 代理公司： | 浙江大学专利代理事务所 | 代理人： | 连寿金 |
| 地址： | 浙江省杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 直拉硅单晶 气相掺氮 方法 | ||
【权利要求书】：
1、一种直拉硅单晶的气相掺氮方法，其特征在于采用氮气或者氩-氮混合气作为保护气体，炉内气体压力为5～60托，气体流量为1～6m3/hr。
2、按照权利要求1所述的气相掺氮方法，其特征在于作为保护气体实现气相掺氮的氮气可采用纯度为99.99%的氮。
3、按照权利要求1所述的气相掺氮方法，其特征在于当采用氩-氮混合气作为保护气体实现气相掺氮时，氩气成份为1～99%，氮气成份为99～1%。
4、按照权利要求1所述的气相掺氮方法，其特征在于所述的保护气体，其炉内最佳气体压力为15～25托，最佳流量为2～5m3/hr。
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