[其他]光学式位移检测装置

权利要求书

1、一种光学式位移检测装置，其特征在于，该装置包括：

照明装置，包括一个相干光源；

主标尺，在其上形成以具有光栅间距为P的第一光栅；

指示标尺，在其上形成以具有光栅间距q=P/n(n为等于或大于2的整数)；和

光接收元件，用以对透过所述第一和第二光栅照射的照明光进行光电转换；

其中，随着所述主标尺与所述指示标尺的相对位移，产生间距为P/n的检测信号。

2、如权利要求1所述的光学式位移检测装置，其特征在于，当考虑到所述光接收元件而将光学系统有效光谱的中心波长调定为时，所述第一和第二光栅之间的间隙距离调定为mq²/左右（m为等于或大于，的整数）。

3、如权利要求1所述的光学位移检测装置，其特征在于，当考虑到所述光接收元件而将光学系统的中心波长调定为时，所述第二光栅的光栅间距q调定为P/2，所述第一和第二光栅之间的间隙距离调定为2q²/。

4、如权利要求1所述的光学式位移检测装置，其特征在于，所述光源是一个激光二极管。

5、如权利要求1所述的光学式位移检测装置，其特征在于，所述第一光栅的透光部分或反光部分与遮光部分或吸收光部分之间的比值大体上为1∶1。

6、如权利要求1所述的光学式位移检测装置，其特征在于，所述第二光栅的透光部分与遮光部分之间的比值大体上为1∶1。

7、一种光学式位移检测装置，其特征在于，该装置包括：

漫射性光源，用以照明主标尺而不使用准直透镜;

所述主标尺，安置在距所述漫射性光源一段间隙距离u间隔分离的位置上，在其上形成以具有光栅间距为p的第一光栅;

指示标盘，安置在距所述第一光栅一段间隙距离v的间隔分离的位置上，在其上形成以具有光栅间距q＝（u+v）P/u的第二光栅;和

光接收元件，用以对两标尺彼此相对移动时所述漫射性光源使第一光栅的象与所述第二光栅重叠所引起的光量变化进行光电转换;

8、如权利要求7所述的光学式位移检测装置，其特征在于，所述漫射性光源是一个点光源。

9、如权利要求8所述的光学式位移检测装置，其特征在于，所述点光源是一个激光二极管。

10、如权利要求8所述的光学式位移测定装置，其特征在于，所述点光源是在激光二极管发光部分前面设置一个用以控制发散角的透镜形成的。

11、如权利要求10所述的光学式位移检测装置，其特征在于，所述用以控制发散角的透镜是一个半球面透镜。

12、如权利要求7所述的光学式位移检测装置，其特征在于，所述漫射性光源是一个定向于所述第一光栅宽度方向上的线性光源。

13、如权利要求7所述的光学式位移检测装置，其特征在于，当光学系统的光敏性光谱的波长平均值调为时，所述间隙距离v调定为：

v≌unP²/（u-nP²）

其中n为等于或小于u/P²的自然数。

14、一种光学式位移检测装置，其特征在于，该装置包括：

漫射性光源，用以照明主标尺而不用准直透镜;

所述主标尺，安置在距所述漫射性光源一段间隙距离u的间隔分离的位置上，在其上形成以光栅间距为p的第一光栅，

指示标尺，安置在距所述第一光栅一段间隙距离v的间隔分离v的间隔分离的位置上，在其上形成以具有光栅间距q＝（u+v）P/（2u）的第二光栅;和

光接收元件，用以对两标尺彼此相对移动时所述漫射性光源使所述第一光栅的象与所述第二光栅重叠所引起的光量变化进行光电转换。

15、如权利要求14所述的光学式位移检测装置，其特征在于，所述漫射性光源是一个点光源。

16、如权利要求15所述的光学式位移检测装置，其特征在于，所述点光源是一个激光二极管。

17、如权利要求15所述的光学式位移测定装置，其特征在于，所述点光源是在激光二极管发光部分前面设置一个用以控制分散角的透镜形成的。