[发明专利]用于光阀的层流电子枪

权利要求书

1、一种舒利莱恩暗场型光阀用的层流电子枪，其特征在于包括：

工作在大约2000°K温度，产生具有大约1.2安培/平方厘米束流密度的电子束的阴极；

有孔的第一电极，它靠近所述阴极并与该阴极同轴，其工作电压为略高于所述阴极的正电压，所述阴极和所述第一有孔电极一起构成电位等于或接近等于所述第一有孔电极电位的实际上的阴极，以减小所述电子束的热发散；

有孔的第二电极，它与所述第一有孔电极同轴并分开一段距离，其工作电压为比所述阴极电压高许多的正电压，所述第二有孔电极的孔面积小于所述第一电极的孔面孔；

有孔的第三电极，它与所述有孔第二电极同轴并分开一段距离，其工作电压高于第二有孔电极，所述第三电极的孔面积小于所述第一和第二电极的孔面积，所述第一、第二和第三电极的每一个阻截住一部分所述电子束，以获得层流。

2、如权利要求1所述的电子枪，其中第三电极的孔呈方形。

3、如权利要求1所述的电子枪，其中，所述阴极直径约为0.030英寸，所述阴极与所述第一电极之间的距离为0.012到0.080英寸数量级。

4、如权利要求3所述的电子枪，其中所述第一电极与所述第二电极间的距离大约为0.188英寸，所述第二电极与所述第三电极间的距离大约为0.22英寸，所述第一电极的孔的直径大约为0.02英寸，所述第二电极的孔的直径大约为0.01英寸，所述第一电极的工作电压范围为+40伏到+80伏，所述第二电极的工作电压范围为+2000伏到+3000伏，而所述第三电极的工作电压为大约+7200伏。

5、一种束流可调的层流电子枪，包括一个平的阴极，栅极和至少两个加速阳极，所述栅极和所述加速阳极与所述阴极在同一轴线上，其特征在于离所述阴极最远的加速阳极具有电子束成型孔，每个所述加速阳极上带有随离开所述阴极距离的增加不断减小孔径的孔，所述加速阳极可与电源相接，生成静电场，使电子能从阴极基本上以层流形式，在通过所述束成形孔的电子束中以最小束散角通过电子枪，所述电子束成型孔以电子光学方法成像到靶子上。

6、如权利要求5所述的电子枪，其中有三个加速阳极。

7、如权利要求5所述的电子枪，其中电子束成型孔为方形。

8、如权利要求5所述的电子枪，其中，阴极的工作温度范围为1200°～3，000°K，它所产生的电子束流密度可达4安培/厘米²。

9、如权利要求8所述的电子枪，其中第一加速阳极非常靠近所述阴极，所述第一加速阳极的工作电压为略高于所述阴极电位的正电压，所述阴极及所述第一加速阳极一起构成一个电位等于或大约等于所述第一加速阳极电位的实际上的阴极。

10、如权利要求9所述的电子枪，其中有三个加速阳极，第二加速阳极的工作电位比所述阴极电位高，具有所述电子束成型孔的第三加速阳极的工作电位高于所述第二加速阳极的电位。

11、如权利要求9所述的电子枪，其中该束成型孔为方形。