[其他]衬底上薄膜的特性监测设备

权利要求书

1、一种衬底上薄膜特选特性测定设备，该测定设备包括：

一扫描头，安装得使其可沿距某一衬底表面一段距离通常为线性的路径运动；

一光源，附在所述扫描头上；

一导光装置，用以引导所述光源的光束使其照射到衬底表面；

一集光装置，附在所述扫描头上，用以将衬底表面反射回来的所述光束的至少一部分收集起来；

其特征在于，该测定设备还包括：

一输出信号发生装置，用以根据所述收集到的光产生表示所述光束的至少两种不同特性的输出信号；和

一薄膜特性测定装置，用以根据所述输出信号测定在衬底表面上形成的薄膜的至少一种特性。

2、如权利要求1所述的设备，其特征在于，所述扫描头是安装在衬底表面上支撑的导轨上。

3、如权利要求2所述的设备，其特征在于，所述衬底是玻璃条板，所述导轨的两端用一对位于条板两对向侧通常竖向延伸的支柱支撑着。

4、如权利要求1所述的设备，其特征在于，所述衬底呈条板材的形式，可沿平行于衬底纵向轴线的路径运动，所述通常为线性的扫描头路径则通常垂直于所述条板两对向侧之间的所述纵向轴线延伸。

5、如权利要求1所述的设备，其特征在于，所述光源包括钨丝灯。

6、如权利要求5所述的设备，其特征在于，所述光源包括一滤光器，用以减少所述光束的红色分量。

7、如权利要求1所述的设备，其特征在于，所述光源包括一遮光器，用以使所述光束形成一系列光脉冲。

8、如权利要求1所述的设备，其特征在于，所述导光装置包括一透镜，用以将光从所述光源聚焦成所述光束。

9、如权利要求1所述的设备，其特征在于，所述集光装置包括一积分球，呈空心球的形式，球壁上开有一入口，朝向衬底表面，从而使从衬底表面反射回来的所述光束至少有一部分通过所述入口进入所述球中，并在所述球中收集起来。

10、如权利要求9所述的设备，其特征在于，所述积分球的所述球壁的内表面敷有反光材料。

11、如权利要求9所述的设备，其特征在于，所述输出信号发生装置包括一在所述积分球的所述球壁上形成的检测器端口和一安置在所述检测器端口中用以根据在所述积分球中所收集到的所述光产生其中一个所述输出信号的光电探测器。

12、如权利要求9所述的设备，其特征在于，所述输出信号发生装置包括至少一对在所述积分球的所述球壁上形成的检测器端口以及第一和第二光电探测器，第一和第二光电探测器安置在所述检测器端口的相应端口中，用以根据在所述积分球中所收集到的所述光分别产生第一和第二输出信号。

13、如权利要求12所述的设备，其特征在于，所述输出信号发生装置包括第一和第二滤光装置，装在那里用以过滤所述收集在所述积分球中并分别由所述第一和第二光电探测器检测的光。

14、如权利要求13所述的设备，其特征在于，所述第一滤光装置将所述具有CIE  X、Y、Z三色刺激色标的“Y”分量值的光传送到所述第一光电探测器中，且所述第一输出信号表示所述“Y”分量光的强度。

15、如权利要求13所述的设备，其特征在于，所述第二滤光装置将所述具有CIE  X、Y、Z三色刺激色标的“Z”分量值的光传送到所述第二光电探测器中，且所述第二输出信号表示所述“Z”分量光的强度。

16、如权利要求1所述的设备，其特征在于，所述输出信号呈模拟形式，且所述测定至少一种特性用的装置包括一微处理机，该微处理机用以根据所述输出信号将所述模拟形式转换成数字形式，并用以以数字形式处理所述输出信号以产生一特性信号，且包括一显示器，用以根据所述特性信号可见地显示衬底上薄膜的预定特性。

17、如权利要求16所述的设备，其特征在于，所述预定特性是有关CIELAB三色刺激色标的b值。

18、如权利要求16所述的设备，其特征在于，所述预定特性是反射率值。

19、如权利要求16所述的设备，其特征在于，所述预定特性是薄膜厚度值。

20、一种基本上如上述参照附图所介绍的衬底上薄膜的特选特性测定设备。