[其他]徽波增强式化学汽相淀积法及设备

权利要求书

1、一种微波增强式化学汽相淀积设备，其特征在于，该设备包括：

-反应室；

-供气装置，用以将反应气体输入所述反应室中；

-微波发生器，与所述反应室连通，用以将微波发射入界定在所述反应室中的一共振区间内；

-磁铁，用以在所述共振区间内感应出磁场；和

夹持装置，用以将待涂敷的物体夹持在所述共振区间的一个区域中，所述微波的电场的近似最大值就在所述区域中。

2、根据权利要求1所述的设备，其特征在于，该设备还包括温度控制装置，用以控制所述物体的温度。

3、根据权利要求2所述的设备，其特征在于，所述控制装置是个红外加热器。

4、根据权利要求3所述的设备，其特征在于，所述加热器用红外光照射所述夹持装置。

5、根据权利要求4所述的设备，其特征在于，所述红外光聚焦到所述夹持装置上。

6、根据权利要求5所述的设备，其特征在于，所述共振区间为圆筒形壁所包围。

7、根据权利要求6所述的设备，其特征在于，所述磁铁是一个环包所述筒形壁外侧的螺线管。

8、一种微波增强式化学汽相反应设备，该设备包括：

-反应室，配备有将所述反应室抽成负压的装置;

微波发生装置，用以在所述反应室中产生微波;和

磁场感应装置，用以在所述反应室中感应出磁场;

所述设备的特征在于，在所述微波取最大值的电场的一个区域中在磁场与微波之间建立起电子回旋共振状态。

9、根据权利要求8所述的设备，其特征在于，所述化学汽相反应是在所述区域中进行。

10、一种微波增强式化学汽相淀积设备，其特征在于，所述设备具有一反应气体引入系统和一淀积区间，在该区间中用磁波和磁场建立起一电子回旋共振状态。

11、一种微波增强式化学汽相淀积法，该方法包括下列步骤：

往一反应室中引入反应气体;

在所述反应室中感应出一磁场;

往所述反应室中输入微波;

在所述磁场情况下用所述微波激发所述反应气体;和

藉化学汽相反应在待涂敷的平面上淀积上一层薄膜;

所述方法的特征在于，所述淀积区域系限定在激发区域中的，在该激发区域中，所述磁场和微波彼此相互配合激发着所述反应气体。

12、一种化学汽相淀积法，包括下列步骤：

往一反应室中引入反应气体;

在所述反应室中感应出一磁场;

往所述反应室中输入微波;

在所述磁场情况下用所述微波能激发所述反应气体;和

藉化学汽相反应在待涂敷的表面上淀积上制品;

所述方法的特征在于，在操作过程中将反应气体的压力保持在1托和100托之间。

13、根据权利要求12所述的方法，其特征在于，选取所述压力在3托和30托之间。

14、根据权利要求12所述的方法，其特征在于，所述反应气体起码是个烃类。

15、根据权利要求14所述的方法，其特征在于，所述淀积制品是金刚石。

16、根据权利要求14所述的方法，其特征在于，所述淀积制品是绝缘碳。

17、根据权利要求12所述的方法，其特征在于，所述反应气体为C₂H₆、C₂H₄和/或C₂H₂。

18、一种化学汽相淀积法，包括下列步骤：

将待处理的物体安置在一反应室中;

往所述反应室中输入反应气体;

借助于与磁场相互配合的微波激发所述反应气体;

在所述待处理的物体上进行化学汽相反应;

所述方法的特征在于，所述反应气体的压强是这样选取的，以便产生混合共振。

19、根据权利要求18所述的方法，其特征在于，所述磁场的强度等于或高于1千高斯。

20、如权利要求18所述的方法，其特征在于，所述磁场的频率为2.45千兆赫。